[实用新型]水平载片装置

权利要求书

1.一种水平载片装置，包括基座，其特征在于，所述基座设置有卡槽，所述卡槽用于放置待装载的晶圆，且当所述水平载片装置水平放置时，所述卡槽的底面与水平面之间具有一预设夹角。

2.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，所述预设夹角的范围为5°至20°。

3.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，所述卡槽的至少一个侧壁的顶部设置有倒角。

4.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，所述卡槽的两侧壁均垂直于所述卡槽的底面。

5.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，所述卡槽的两侧壁相互平行，与所述卡槽的底面呈70°至95°的夹角。

6.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，至少两个位于同一平面内的卡槽构成一个卡槽组，用于放置一片晶圆；位于同一卡槽组内的所有卡槽位于同一弧线上，且所述弧线的圆弧半径与晶圆的半径相同。

7.根据权利要求5所述的水平载片装置，其特征在于，所述基座上具有两个以上沿基座的长度方向平行设置的卡槽组。

8.根据权利要求5所述的水平载片装置，其特征在于，所述基座包括底座和两个基座侧壁，所述两个基座侧壁沿底座的长度方向对称设置于所述底座两侧；在所述基座侧壁的顶部以及基座侧壁与底座的连接处设置所述卡槽。

9.根据权利要求8所述的水平载片装置，其特征在于，位于所述基座侧壁顶部的卡槽开口朝向另一侧的基座侧壁。

10.根据权利要求1所述的水平载片装置，其特征在于，所述底座上设置有标记，用于标记晶圆放置于所述卡槽内时相对所述基座的倾倒方向。

11.根据权利要求10所述的水平载片装置，其特征在于，所述标记设置于所述底座的端部，所述端部为晶圆的倾倒方向指向的一端。