[实用新型]缓冲型引线键合装置有效

专利信息
申请号: 201920610048.2 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN209766361U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 李鹏飞;郑阔;王优 申请(专利权)人: 西安国是电子科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710100 陕西省西安市航天*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 键合 键合头 键合设备 基板 本实用新型 顶部架体 键合组件 引线键合 引线槽 抵接 半导体制造设备 竖直方向运动 引线键合装置 震动 夹板 抵接位置 抵接状态 底部连接 贯通设置 缓冲装置 驱动装置 中心开孔 缓冲型 减少键 驱动键 伸缩杆 底壁 轴向
【权利要求书】:

1.一种缓冲型引线键合装置,包括机体(1)、基座(2)及键合组件(3),其特征在于:所述键合组件(3)包括顶部架体(4)及在所述顶部架体(4)底壁安装的键合杆(5),所述键合杆(5)垂直于顶部架体(4)竖直向下设置,并且在所述键合杆(5)与顶部架体之间连接有滑移装置(6),所述键合杆(5)中沿其轴向开设有引线槽(51),在所述键合杆(5)的底部连接有键合头(52),所述键合头(52)中心开孔与引线槽(51)贯通设置,在所述键合头(52)上设有驱动键合头(52)沿竖直方向运动的驱动装置(7),所述驱动装置(7)包括在所述键合杆(5)侧壁装设的气缸(71)及在键合头(52)侧壁连接的驱动圈(72),所述气缸(71)与驱动圈(72)连接,并且所述键合头(52)与键合杆(5)之间连接有缓冲装置(53)。

2.根据权利要求1所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:所述缓冲装置(53)包括在所述键合杆(5)的底部开设的缓冲槽(531)及在所述缓冲槽(531)中装设的缓冲弹簧(532),所述键合头(52)插设于缓冲槽(531)中,并且其伸入缓冲槽(531)的一端与缓冲弹簧(532)连接。

3.根据权利要求1所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:所述滑移装置(6)包括在所述顶部架体(4)底壁装设的滑轨(61)及在所述滑轨(61)上装设的直线电机(62),所述键合杆(5)的顶部与直线电机(62)固定连接,并且在所述滑轨(61)的两侧设有驱动滑轨(61)沿垂直于其长度方向动作的牵引装置(8)。

4.根据权利要求3所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:所述牵引装置(8)包括在所述顶部架体(4)上位于顶部架体(4)两侧装置的横杆(81)及在所述横杆(81)的两侧装设的收卷机(82),所述收卷机(82)上的装设有收卷绳(83),所述收卷绳(83)远离收卷机(82)的一端与所述滑轨(61)的侧壁连接。

5.根据权利要求1所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:所述基座(2)包括底板(21)及压板(22),所述底板(21)装于机体(1)表面,所述压板(22)装设于底板(21)上方,并且所述压板(22)的两段连接于底板(21)的两侧,所述压板(22)包括两个竖直件(221)及水平件(222),所述竖直件(221)一端与底板(21)的侧壁固定连接,另一端与所述水平件(222)连接,在所述水平件(222)上装设有压紧装置(23)。

6.根据权利要求5所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:所述压紧装置(23)包括在水平件(222)上开设的压紧孔(231)及在压紧孔(231)中穿设的压紧杆(232),所述压紧杆(232)与所述压紧孔(231)通过螺纹连接,并且在所述压紧杆(232)底部装设有压紧吸盘(233)。

7.根据权利要求6所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:在所述压紧杆(232)顶部装设有旋转手柄(234)。

8.根据权利要求1所述的缓冲型引线键合装置,其特征在于:在所述机体(1)的侧壁设有控制面板(11),所述控制面板(11)与所述驱动装置(7)、滑移装置(6)及牵引装置(8)连接。

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