[实用新型]一种用于碳化硅外延的气体分流装置

权利要求书

1.一种用于碳化硅外延的气体分流装置，包括分流腔室；其特征在于，

所述分流腔室前端依次设有分流板与分流罩，所述分流板上设有若干横向的通孔；分流罩内部中空并设有两个横向的隔板，将罩体按1：3：1体积比隔开；分流腔室内在相应位置也设有两块隔板，将分流腔室分为三部分，各个部分后端各设有一根金属波纹卡套管；分流腔室外部设有锁紧装置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流罩前端设有内凹台阶，台阶处装设有导流套。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述锁紧装置包括锁紧杆，分流腔室外顶端与底端各设计导向孔，锁紧杆设于分流腔室的安装孔内；弹簧穿过锁紧杆拉紧，弹簧一端压紧分流腔室，一端压紧预紧螺母。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流腔室底部设有分流板，分流板托住分流罩。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流罩为中空的长方体，分流罩后端有翻边，翻边被锁紧杆压住。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流罩与分流腔室通过密封件密封。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流板与分流腔室通过螺钉联接。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属波纹卡套管与分流腔室通过支撑垫片密封。

9.根据权利要求1或3所述的装置，其特征在于，所述锁紧杆一头焊接压紧块，一头为螺纹设计，呈7字形；所述压紧块设有用于导向的锥度或圆弧过渡的凸台。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流腔室的两端腔室宽度尺寸为150mm～200mm；中间腔室宽度为100mm～120mm。