[实用新型]一种旋转式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920628453.7 | 申请日： | 2019-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN209974880U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈开龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市沃克力技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22;C23C16/458;C23C16/44;C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518111 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空壳体 镀板 本实用新型 固定装置 气化装置 上端 镀料 封盖 通孔 真空镀膜装置 抽真空装置 匹配设置 外部连通 真空镀膜 中空结构 旋转式 侧壁 底壁 镀膜 | ||
1.一种旋转式真空镀膜装置，包括真空壳体(1)，其特征在于，所述真空壳体(1)为中空结构，所述真空壳体(1)的上端与外部连通的通孔，且真空壳体(1)的上端设有与通孔匹配设置的封盖(2)，所述封盖(2)的下侧侧壁固定连接有镀板固定装置，所述真空壳体(1)的两侧均设有抽真空装置，所述真空壳体(1)的底壁上设有镀料气化装置，且镀料气化装置位于镀板固定装置的正下方。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式真空镀膜装置，其特征在于，所述镀板固定装置包括水平设置的固定板(3)，所述固定板(3)的下侧侧壁横向设有开口远离封盖(2)的滑槽(4)，所述滑槽(4)内滑动连接有两个对称设置的滑板(5)，两个所述滑板(5)的下端均固定连接有水平设置的第一夹板(6)，两个所述第一夹板(6)的上侧侧壁均通过多个第一弹簧(8)连接有水平设置的第二夹板(7)，两个所述第一夹板(6)的上侧侧壁均固定连接有竖直设置的连接杆(9)，且两个连接杆(9)的上端均贯穿第二夹板(7)的侧壁设置，两个所述连接杆(9)的上端均设有滑动锁块(10)。
3.根据权利要求1所述的一种旋转式真空镀膜装置，其特征在于，两个所述抽真空装置均包括抽真空泵(11)，两个所述抽真空泵(11)均与真空壳体(1)的侧壁固定连接，两个所述抽真空泵(11)的输出端均贯穿真空壳体(1)的侧壁并固定连接有抽真空板(12)。
4.根据权利要求1所述的一种旋转式真空镀膜装置，其特征在于，所述镀料气化装置包括镀料槽(13)，所述镀料槽(13)内设有坩埚(22)，所述镀料槽(13)的上端设有气化板(14)，所述气化板(14)为中空结构，且气化板(14)的下侧侧壁与镀料槽(13)内部连通，所述气化板(14)的上侧侧壁设有多个气化孔(15)，且每个气化孔(15)内均固定连接有气化网(16)。
5.根据权利要求2所述的一种旋转式真空镀膜装置，其特征在于，所述滑槽(4)内固定连接有水平设置的固定杆(17)，且两个滑板(5)均套设在固定杆(17)上，两个所述滑板(5)的上端均设有安装槽(18)，且两个安装槽(18)内均设有滑轮(19)，所述固定杆(17)的两端均套设有第二弹簧(20)，且两个第二弹簧(20)分别与两个滑板(5)的侧壁固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种旋转式真空镀膜装置，其特征在于，所述气化板(14)的下侧侧壁固定连接有两个对称设置的插杆(21)，且镀料槽(13)的两端均设有与插杆(21)匹配设置的插槽。
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