[实用新型]一种静压导轨直线度测量装置

权利要求书

1.一种静压导轨直线度测量装置，其特征在于包括：

基座；

设置在基座上方的溜板；

固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台，所述三维精密调整平台顶部设置有气浮腔；

放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，所述高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；

安装在基座一侧的仪器座，所述仪器座上竖直安装有仪器支柱，所述仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，所述仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。

2.如权利要求1所述的静压导轨直线度测量装置，其特征在于：所述溜板设置成倒“U”型，所述溜板倒扣在基座上，所述溜板与基座之间通过流体薄膜支承。

3.如权利要求1所述的静压导轨直线度测量装置，其特征在于：所述三维精密调整平台通过磁力吸附在溜板上。