[实用新型]一种静压导轨直线度测量装置

说明书

本实用新型提供了一种静压导轨直线度测量装置，包括：基座；设置在基座上方的溜板；固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台；放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；安装在基座一侧的仪器座，仪器座上竖直安装有仪器支柱，仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。本静压导轨直线度测量装置结构简单，操作方便，检测成本较低、测量过程中不受外部环境影响，测量精度高。

技术领域

本实用新型涉及一种夹持装置，具体涉及一种静压导轨直线度测量装置。

背景技术

静压导轨是超精密机床的核心零部件，其利用具有一定压力的流体薄膜支承与之配合的溜板运动，使导轨面之间处于纯液体摩擦状态。导轨运动的直线度误差会直接反映在加工零件上，影响产品的互换性和产品精度。因此，在导轨安装过程中需要对导轨的直线度进行测量，直线度是机床导轨精度的重要指标之一。

随着科学技术的不断发展，工业生产的不断变革，工业上对各项参数的测量精度要求越来越高，使得工业测量的内容和手段也发生了很大的变化。形状和未知误差影响着产品的质量和使用性能。对加工和测量也不断提出更新更高的要求。

现有技术采用激光干涉仪器对静压导轨的直线度进行测量，但是成本极高且测量受到环境的影响。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种成本较低、不受外部环境影响且测量精度高的静压导轨直线度测量装置。

为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种静压导轨直线度测量装置，包括：基座；设置在基座上方的溜板；固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台，所述三维精密调整平台顶部设置有气浮腔；放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，所述高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；安装在基座一侧的仪器座，所述仪器座上竖直安装有仪器支柱，所述仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，所述仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。

在上述技术方案中，高精度玻璃圆盘和溜板之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨，仪器座、仪器支柱和仪器横向支承组成一个3自由度移动的支架，精密电容传感器固定在由仪器座、仪器支柱和仪器横向支承组成的支架上。高精度玻璃圆盘通过磁力吸附在溜板上，三维精密调整平台上放置高精度玻璃圆盘，然后溜板带动高精度玻璃圆盘和三维精密调整平台沿基座横向运动，在这个运动过程中，通过精密电容传感器检测不同位置处精密电容传感器和高精度玻璃圆盘之间的距离，默认高精度圆盘的形状误差、粗糙度误差为0，通过比较不同位置处精密电容传感器和高精度玻璃圆盘之间的距离之差，直观显示出溜板在整个运动过程中的直线度。

优选的，所述溜板设置成倒“U”型，所述溜板倒扣在基座上，所述溜板与基座之间通过流体薄膜支承。

优选的，所述三维精密调整平台通过磁力吸附在溜板上。

本实用新型提供的一种静压导轨直线度测量装置的有益效果在于：本静压导轨直线度测量装置结构简单，操作方便，通过比较不同位置处精密电容传感器和高精度玻璃圆盘之间的距离之差，可以直观检测出溜板在整个运动过程中的直线度，相比传统的激光检测易于实现，而且检测成本较低、测量过程中不受外部环境影响，测量精度高。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图中：1、基座；2、三维精密调整平台；3、仪器座；4、仪器支柱；5、仪器横向支承；6、精密电容传感器；7、高精度玻璃圆盘；8、溜板。

具体实施方式