[实用新型]一种调温承片台及激光二极管测试设备有效

专利信息
申请号: 201920640768.3 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN210109152U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 王胜利;杨波 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/26;G01R31/44;G05D23/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 调温 承片台 激光二极管 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种调温承片台,其特征在于:所述调温承片台(100)包括,

导热载料部(20),能够导热,使放置在导热载料部(20)上的待测物料能够满足测试温度要求;

调温部(30),连接于导热载料部(20);调温部(30)产生的热量能够传递至导热载料部(20);

绝热部(40),设置有第一贯通孔(41);所述绝热部(40)连接于调温部(30),且导热载料部(20)穿过所述第一贯通孔(41)。

2.根据权利要求1所述的调温承片台(100),其特征在于:所述绝热部(40)设置有第一容置槽(42),所述第一容置槽(42)连通于第一贯通孔(41),所述调温部(30)容纳于所述第一容置槽(42),且所述调温部(30)靠近导热载料部(20)一侧贴合于所述第一容置槽(42)内壁。

3.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述调温部(30)包括发热部(31)和传热部(32);

所述传热部(32)连接于导热载料部(20),所述传热部(32)远离导热载料部(20)一侧设置有第二容置槽(321);所述发热部(31)容纳于所述第二容置槽(321),所述发热部(31)产生的热量经过传热部(32)传递到导热载料部(20)。

4.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述调温承片台(100)还包括散热部(50),所述散热部(50)包括贴合部(51)和多个散热片(52),所述多个散热片(52)连接于贴合部(51)的第一侧面(511);贴合部(51)的第二侧面(512)贴合于调温部(30)远离导热载料部(20)的一侧,所述第二侧面(512)远离第一侧面(511)。

5.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述导热载料部(20)具有导电性。

6.根据权利要求5所述的调温承片台,其特征在于:所述绝热部(40)为绝缘材料。

7.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述导热载料部(20)连接有温度传感器。

8.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述导热载料部(20)设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将待测试的物料吸附固定。

9.根据权利要求1所述的调温承片台,其特征在于:所述调温部(30)远离导热载料部(20)的一侧设置有散热风扇。

10.一种激光二极管测试设备,其特征在于:所述激光二极管测试设备包括上述权利要求1-9任意一项所述的调温承片台(100)。

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