[实用新型]一种调温承片台及激光二极管测试设备有效
申请号: | 201920640768.3 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN210109152U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 王胜利;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26;G01R31/44;G05D23/20 |
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地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调温 承片台 激光二极管 测试 设备 | ||
本实用新型公开了一种调温承片台。一种调温承片台包括,导热载料部,能够导热,使放置在导热载料部上的待测物料能够满足测试温度要求;调温部,连接于导热载料部;调温部产生的热量能够传递至导热载料部;绝热部,设置有第一贯通孔;所述绝热部连接于调温部,且导热载料部穿过所述第一贯通孔;使调温部产生的热量能够更多地传递到导热载料部,从而节省能量,调温部产生的热量能够稳定传递至导热载料部,减小环境温度变化对导热载料部温度的影响,满足对测试物料的不同温度测试环境需求。
技术领域
本实用新型涉及一种调温承片台及激光二极管测试设备。
背景技术
激光二极管需要进行如80°高温测试,故承载激光二极管的承片台需要具有调温功能以满足不同温度的测试需求。
实用新型内容
为解决激光二极管进行高温测试需要设置不同温度的问题,本实用新型提出一种调温承片台及激光二极管测试设备。
本实用新型的技术方案为:一种调温承片台包括,
导热载料部,能够导热,使放置在导热载料部上的待测物料能够满足测试温度要求;
调温部,连接于导热载料部;调温部产生的热量能够传递至导热载料部;
绝热部,设置有第一贯通孔;所述绝热部连接于调温部,且导热载料部穿过所述第一贯通孔。
进一步的,所述绝热部设置有第一容置槽,所述第一容置槽连通于第一贯通孔,所述调温部容纳于所述第一容置槽,且所述调温部靠近导热载料部一侧贴合于所述第一容置槽内壁。
进一步的,所述调温部包括发热部和传热部;
所述传热部连接于导热载料部,所述传热部远离导热载料部一侧设置有第二容置槽;所述发热部容纳于所述第二容置槽,所述发热部产生的热量经过传热部传递到导热载料部。
进一步的,所述调温承片台还包括散热部,所述散热部包括贴合部和多个散热片,所述多个散热片连接于贴合部的第一侧面;贴合部的第二侧面贴合于调温部远离导热载料部的一侧,所述第二侧面远离第一侧面。
进一步的,所述导热载料部具有导电性。
进一步的,所述绝热部为绝缘材料。
进一步的,所述导热载料部连接有温度传感器。
进一步的,所述导热载料部设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将待测试的物料吸附固定。
进一步的,所述调温部远离导热载料部的一侧设置有散热风扇。
一种激光二极管测试设备,所述激光二极管测试设备包括上述任意一项所述的调温承片台。
本实用新型的有益效果在于:使调温部产生的热量能够更多地传递到导热载料部,从而节省能量,调温部产生的热量能够稳定传递至导热载料部,减小环境温度变化对导热载料部温度的影响,满足对测试物料的不同温度测试环境需求。
附图说明
图1为本实用新型调温承片台示意图;
图2为绝热部第一视角示意图;
图3为绝热部第二视角示意图;
图4为调温部示意图;
图5为传热部示意图;
图6为散热部示意图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
如图1和图2所示,一种调温承片台100包括,
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