[实用新型]真空腔驱动器

权利要求书

1.一种真空腔驱动器，其特征在于，其包括：

一基座，供结合固定在一真空腔体上，底部具有朝下开口的一滑槽，该滑槽顶面的中央具有一穿孔与该真空腔体的内部相通；

一活塞，可往覆滑移地设于该滑槽之中，该活塞的一侧面中央一体设有一活塞杆，该活塞杆穿过该穿孔而延伸到该真空腔体的内部，该活塞杆的上端具有一结合部；

一底盖，封盖于该滑槽的开口上；

一驱动件，底部结合于该活塞杆的结合部上；以及

一金属波纹管，包覆于该活塞杆的外部，且下端结合在该基座上，上端结合在该驱动件的底部，可随着该活塞杆弹性伸缩，并使该活塞杆在作动时该真空腔体的内部仍维持在真空状态。

2.如权利要求1所述的真空腔驱动器，其特征在于，所述基座的顶部具有一固定片用于结合固定在该真空腔体上。

3.如权利要求1所述的真空腔驱动器，其特征在于，所述活塞杆的结合部具有外螺纹，该驱动件的底部具有一结合螺孔供螺锁结合于该结合部上。

4.如权利要求1所述的真空腔驱动器，其特征在于，所述驱动件连接该真空腔体内部其它需被往覆作动的机构。