[实用新型]真空腔驱动器

说明书

一种真空腔驱动器，包括一基座、一活塞、一驱动件及一金属波纹管，该基座供结合在一真空腔体上，内部具有一滑槽，该活塞可往覆滑移地设于该滑槽之中，该活塞上一体设有一活塞杆，该活塞杆延伸到该真空腔体的内部，该驱动件结合于该活塞杆的上端，该金属波纹管包覆于该活塞杆的外部，且下端结合在该基座上，上端结合在该驱动件的底部，可随着该活塞杆弹性伸缩，并使该活塞杆在作动时该真空腔体的内部仍维持在真空状态；藉此可大幅延长金属波纹管的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空腔驱动器结构方面的技术领域，尤指一种可大幅延长金属波纹管的使用寿命的真空腔驱动器。

背景技术

一般已知的真空腔驱动器，如图1及图2所示，主要包括一座体10、一驱动杆11、一金属波纹管12、一气缸13及一连结螺栓14。其中，该座体10结合固定于一真空腔体A上。该驱动杆11可伸缩地穿设于该座体10上，该驱动杆11具有位于该真空腔体A的内部的一驱动部110及位于该真空腔体A的外部（此处的内部和外部所指部位见图2中所示）的一连接部111，该驱动部110可连接该真空腔体A的内部其它需被往覆作动的机构(如承座、阀门等)。该金属波纹管12包覆于该驱动杆11的外部，且下端结合在该座体10上，上端结合在该驱动部110上，可随着该驱动杆11弹性伸缩，并使该驱动杆11在作动时该真空腔体A的内部仍维持在真空状态。该气缸13利用数个结合螺栓130将其螺锁结合在该座体10的底部，且该气缸13的活塞杆131的端面具有一内螺纹孔132。该连结螺栓14利用一固定螺栓140将其螺锁结合在该驱动杆11的连接部111上，使该连结螺栓14可转动地结合在该连接部111，该连结螺栓14的底部并具有一外螺纹段141可供螺锁结合在该活塞杆131的内螺纹孔132之中，以达到将该活塞杆131与该驱动杆11连接的目的。

然而，众所皆知一般螺纹在加工制作时皆会存在或多或少的误差，而螺合件的配合会因内螺纹与外螺纹的加工公差的累加而存在着更大的误差，导致螺合件于螺锁配合时无法非常精确地定位。而该已知真空腔驱动器利用数个结合螺栓130将该气缸13螺锁结合在该座体10上时，便会产生一次结合上的误差，然后再利用该连结螺栓14以螺纹螺锁方式连接该活塞杆131与该驱动杆11时，又会产生另一次结合上的误差，两次误差累加在一起便会使该活塞杆131与该驱动杆11无法维持在同一中心轴线上，而如此则会使该金属波纹管12因此随着该驱动杆11的偏斜而呈现偏斜或弯曲的状态，进而导致该金属波纹管12的管壁会有受力不均(一侧被压缩、一侧被扩张)的情形，而此受力不均的状况虽然微小，不过由于该驱动杆11伸缩作动的频率非常高，所以短时间内很容易因此受力不均的状况造成该金属波纹管12的管壁产生破裂，而使该真空腔体A的内部因此无法维持在真空状态，而需停机更换该金属波纹管12。所以该金属波纹管12寿命短的问题，不但会大幅增加更换耗材的成本，而且更是会严重影响到工作效率。

有鉴于此，本创作人乃针对上述问题，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本创作。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，解决已知真空腔驱动器利用数个结合螺栓螺锁结合该气缸与该座体以及利用该连结螺栓螺锁连结该活塞杆与该驱动杆所造成的过大结合误差，导致该活塞杆与该驱动杆无法在同一中心轴线上，进而使该金属波纹管的管壁易发生破裂而存在着使用寿命短的问题，而提供一种真空腔驱动器。

为达上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种真空腔驱动器，其特征在于，其包括：一基座，供结合固定在一真空腔体上，底部具有朝下开口的一滑槽，该滑槽顶面的中央具有一穿孔与该真空腔体的内部相通；一活塞，可往覆滑移地设于该滑槽之中，该活塞的一侧面中央一体设有一活塞杆，该活塞杆穿过该穿孔而延伸到该真空腔体的内部，该活塞杆的上端具有一结合部；一底盖，封盖于该滑槽的开口上；一驱动件，底部结合于该活塞杆的结合部上；以及一金属波纹管，包覆于该活塞杆的外部，且下端结合在该基座上，上端结合在该驱动件的底部，可随着该活塞杆弹性伸缩，并使该活塞杆在作动时该真空腔体的内部仍维持在真空状态。

所述基座的顶部具有一固定片用于结合固定在该真空腔体上。