[实用新型]一种整体式硅片翻转装置

权利要求书

1.一种整体式硅片翻转装置，其特征在于，包括旋转轴以及驱动所述旋转轴转动的驱动部件，所述旋转轴上均匀设置有多组取送料单元，所述驱动部件带动所述旋转轴上的取送料单元转动；

所述取送料单元包括两取送料组件，两取送料组件分别设置在所述旋转轴两侧，所述取送料组件包括安装架以及吸板，所述安装架与所述旋转轴连接，所述吸板设置在所述安装架上，所述吸板上所述吸板四角处设置有辅助吸取部件。

2.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述辅助吸取部件包括支架以及辅助吸盘，所述支架为Z型结构，所述支架的安装端与所述吸板连接，所述辅助吸盘设置在所述支架的安装端。

3.如权利要求2所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述支架的安装端上开设有调节槽，所述支架通过调节槽上的螺栓连接。

4.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述吸板上开设有通孔，所述通孔上设有用于检测硅片的位置传感器，所述位置传感器通过连接架与安装架连接。

5.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述驱动部件为电机，所述电机输出轴通过联轴器与所述旋转轴连接，所述电机设置在电机座上，所述旋转轴两端设置有轴承座。

6.如权利要求5所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，还包括升降单元包括两气缸，所述轴承座上设置有升降板，所述气缸分别设置在轴承座的升降板上，两气缸同步带动所述轴承座上下运动。

7.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述旋转轴上设置有与所述安装架相匹配的安装部，所述安装部上开设有方槽。

8.如权利要求2所述的整体式硅片翻转装置，其特征在于，所述吸板上设置有调整杆，所述调整杆穿设在所述吸板上，所述调整杆一端设置有齿轮，另一端设置有转轮，所述支架上设置有腰型槽，所述腰型槽边缘开设有与所述齿轮相匹配的齿面，所述支架通过螺栓与所述吸板连接。