[实用新型]一种整体式硅片翻转装置

说明书

本实用新型涉及硅片加工设备领域，具体涉及一种整体式硅片翻转装置。通过驱动部件带动旋转轴上的多组取送料单元同步转动，确保翻转时硅片不会产生旋转偏移，吸板以及辅助吸取部件吸住硅片后旋转180度，放下下面的硅片，上面吸板以及辅助吸取部件吸住来料的硅片，实现不间断旋转，一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转，提高了设备生产的效率,自动化程度高，克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，具体涉及一种整体式硅片翻转装置。

背景技术

目前，部分工艺为对硅片的双面分各个单面逐步进行加工，这就需要将单面完成加工的硅片翻转后再次进行加工。现有技术中一般采用人工手持工具对硅片进行翻转的装置，在完成硅片翻转的过程中该装置的容错率很低，如果出现不合格部分，则会对后段的加工工序造成严重的影响，导致整体进度的加工工序错乱，同时人工操作可靠性、稳定性较低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可实现不间断旋转，一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转，自动化程度高的整体式硅片翻转装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种整体式硅片翻转装置，包括旋转轴以及驱动所述旋转轴转动的驱动部件，所述旋转轴上均匀设置有多组取送料单元，所述驱动部件带动所述旋转轴上的取送料单元转动；

所述取送料单元包括两取送料组件，两取送料组件分别设置在所述旋转轴两侧，所述取送料组件包括安装架以及吸板，所述安装架与所述旋转轴连接，所述吸板设置在所述安装架上，所述吸板上所述吸板四角处设置有辅助吸取部件。

优选的，所述辅助吸取部件包括支架以及辅助吸盘，所述支架为Z型结构，所述支架的安装端与所述吸板连接，所述辅助吸盘设置在所述支架的安装端。

优选的，所述支架的安装端上开设有调节槽，所述支架通过调节槽上的螺栓连接。

优选的，所述吸板上开设有通孔，所述通孔上设有用于检测硅片的位置传感器，所述位置传感器通过连接架与安装架连接。

优选的，所述驱动部件为电机，所述电机输出轴通过联轴器与所述旋转轴连接，所述电机设置在电机座上，所述旋转轴两端设置有轴承座。

优选的，还包括升降单元包括两气缸，所述轴承座上设置有升降板，所述气缸分别设置在轴承座的升降板上，两气缸同步带动所述轴承座上下运动。

优选的，所述旋转轴上设置有与所述安装架相匹配的安装部，所述安装部上开设有方槽。

优选的，所述吸板上设置有调整杆，所述调整杆穿设在所述吸板上，所述调整杆一端设置有齿轮，另一端设置有转轮，所述支架上设置有腰型槽，所述腰型槽边缘开设有与所述齿轮相匹配的齿面，所述支架通过螺栓与所述吸板连接。

本实用新型的有益效果：

通过驱动部件带动旋转轴上的多组取送料单元同步转动，确保翻转时硅片不会产生旋转偏移，吸板以及辅助吸取部件吸住硅片后旋转180度，放下下面的硅片，上面吸板以及辅助吸取部件吸住来料的硅片，实现不间断旋转，一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转，提高了设备生产的效率,自动化程度高，克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。

附图说明

图1是本实用新型的一种整体式硅片翻转装置结构示意图。

图2是本实用新型的取送料组件示意图。

图3是本实用新型的调整杆示意图。