[实用新型]晶圆摆臂旋转机构有效

专利信息
申请号: 201920649093.9 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN209434161U 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 向军;冯霞霞;封浩 申请(专利权)人: 江苏新智达新能源设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 南京中高专利代理有限公司 32333 代理人: 祝进
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 旋转座 摆臂 半圆形滑道 转环 转动 摆臂旋转机构 上下移动 转动连接 连接座 滚轮 本实用新型 滚轮转动 偏移 支撑 支撑点 晶圆 下端 种晶 环绕 保证
【权利要求书】:

1.一种晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,包括;

旋转座,所述旋转座转动连接在固定的基座上,所述基座的下端设有支座;

摆臂,所述摆臂通过连接座上下滑动设置在所述旋转座上,所述旋转座带动摆臂转动;

其中,所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环,所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧,所述半圆形上下转环具有半圆形滑道;

所述连接座上设置有滚轮,所述滚轮在所述半圆形滑道内滚动。

2.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板,两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道,所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。

3.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述旋转座的侧面连接有沿竖直方向设置的第一导轨,所述第一导轨上滑动连接有第一滑块,所述第一滑块连接在所述连接座上。

4.根据权利要求3所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述旋转座上连接有两条平行设置的所述第一导轨。

5.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述支座上设置有直线电机,所述直线电机的固定端连接在所述支座上,所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。

6.根据权利要求5所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨,所述直线电机位于两个所述第二导轨之间;

所述第二导轨上滑动连接有第二滑块,所述第二滑块连接在所述滑座上。

7.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述基座上安装有驱动电机,所述驱动电机的转轴竖直向下设置,所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。

8.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构,其特征在于,所述连接座上连接有支撑块,所述滚轮转动连接在所述支撑块上。

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