[实用新型]晶圆摆臂旋转机构

说明书

本实用新型提供了一种晶圆摆臂旋转机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上，所述基座的下端设有支座，摆臂，所述摆臂通过连接座能上下移动的连接在所述旋转座上；其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；所述连接座上连接有支撑块，所述支撑块上转动连接有滚轮，所述滚轮转动连接在半圆形滑道内。通过滚轮在半圆形滑道内转动，为摆臂转动时提供一个支撑点，从而保证摆臂在转动时不会出现偏移的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆摆臂旋转机构。

背景技术

晶圆一般都是储存在扩晶环上，将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，目前是通过摆臂的形式自动抓取，通过摆臂的转动从而将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，但是在摆臂转动时由于没有支撑点，导致摆臂在转动时会出现偏移的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆摆臂旋转机构，以解决摆臂在转动时会产生偏移的问题。

本实用新型的上述目的可采用下列技术方案来实现：

本实用新型提供一种晶圆摆臂旋转机构，包括；

旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上，所述基座的下端设有支座；

摆臂，所述摆臂通过连接座上下滑动设置在所述旋转座上，所述旋转座带动摆臂转动；

其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；

所述连接座上设置有滚轮，所述滚轮在所述半圆形滑道内滚动。

进一步的，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。

进一步的，所述旋转座的侧面连接有沿竖直方向设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在所述连接座上。

进一步的，所述旋转座上连接有两条平行设置的所述第一导轨。

进一步的，所述支座上设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。

进一步的，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；

所述第二导轨上滑动连接有第二滑块，所述第二滑块连接在所述滑座上。

进一步的，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。

进一步的，所述连接座上连接有支撑块，所述滚轮转动连接在所述支撑块上。

本实用新型的晶圆摆臂旋转机构的特点及优点是：通过滚轮在半圆形滑道内转动，为摆臂转动时提供一个支撑点，从而保证摆臂在转动时不会出现偏移的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的晶圆摆臂旋转机构的示意图；

图2为本实用新型的晶圆摆臂旋转机构的示意图；

图3为本实用新型的晶圆摆臂旋转机构中连接座与半圆形上下转环的示意图；