[实用新型]多轴机构装置

说明书

本实用新型公开一种多轴机构装置，所述多轴机构装置包括：基座模块、第一移动模块、第二移动模块、第三移动模块、反应模块、倾斜模块以及转动模块。第一移动模块相对于活动承载台进行第一轴向移动，以带动反应模块相对于活动承载台位移。第二移动模块相对于第一移动模块进行第二轴向移动，以带动反应模块相对于第一移动模块位移。第三移动模块驱使活动承载台相对于模块本体进行第三轴向移动，以带动反应模块相对于模块本体位移。反应模块通过倾斜模块的驱动而进行倾斜动作。反应模块通过转动模块的驱动而相对于中心轴进行旋转动作。借此，本实用新型的多轴机构装置通过上述技术方案，可起到多轴向移动以及倾斜的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及一种多轴机构装置，特别是涉及一种具有多轴向移动以及倾斜的功能的多轴机构装置。

背景技术

真空镀膜法是一种在触控面板、太阳能电池等等的光电产业、半导体产业常见的镀膜技术，已知真空镀膜法包含物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等方式。以薄膜太阳能电池的制程为例，需要利用真空镀膜方式于一基板镀上透明导电薄膜电极、光电转换层等膜层，又或者，例如铜铟镓薄膜太阳能电池制作时，则需要先于基板镀上铜薄膜、铟薄膜后再进行硒化处理。

目前现有的真空镀膜设备在对物件进行镀膜程序时，或者在镀膜程序后而要对物件进行检测、观看时，如果要使物件倾斜，则是通过设置真空马达，来起到让物件倾斜的效果。然而，真空马达容易产生过热、运转不顺等问题，进而导致检测程序或镀膜程序麻烦。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种多轴机构装置，以解决现有技术的缺失。

为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的其中一技术方案是，提供一种多轴机构装置，包括：基座模块、第一移动模块、第二移动模块、第三移动模块、反应模块、倾斜模块以及转动模块。所述基座模块包括模块本体以及能活动地连接于所述模块本体的活动承载台。所述第一移动模块能活动地设置于所述活动承载台上。所述第二移动模块能活动地设置于所述第一移动模块上。所述第三移动模块位于所述模块本体，并能活动地连接于所述活动承载台。所述反应模块穿设于所述基座模块、所述第一移动模块以及所述第二移动模块，所述反应模块具有中心轴。所述倾斜模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。所述转动模块穿设于所述反应模块，并能活动地连接于所述反应模块。其中，所述第一移动模块相对于所述活动承载台进行第一轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述活动承载台位移。其中，所述第二移动模块相对于所述第一移动模块进行第二轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述第一移动模块位移。其中，所述第三移动模块驱使所述活动承载台相对于所述模块本体进行第三轴向移动，以带动所述反应模块相对于所述模块本体位移。其中，所述反应模块通过所述倾斜模块的驱动而进行倾斜动作。其中，所述反应模块通过所述转动模块的驱动而相对于所述中心轴进行旋转动作。

优选地，所述第一移动模块包括能活动地设置于所述活动承载台的第一移动单元以及第一驱动单元，所述第一驱动单元能活动地穿设于所述第一移动单元，并设置于所述活动承载台；其中，在所述第一驱动单元转动时，所述第一移动单元受所述第一驱动单元驱动而相对于所述活动承载台进行所述第一轴向移动。

优选地，所述第二移动模块包括能活动地设置于所述第一移动模块的第二移动单元以及第二驱动单元，所述第二驱动单元能活动地穿设于所述第二移动单元，并设置于所述第一移动模块；其中，在所述第二驱动单元转动时，所述第二移动单元受所述第二驱动单元驱动而相对于所述第一移动模块进行所述第二轴向移动。

优选地，所述第三移动模块包括能活动地连接于所述活动承载台与所述模块本体的第三移动单元以及第三驱动单元，所述第三驱动单元能活动地连接于所述第三移动单元，并设置于所述模块本体；其中，在所述第三驱动单元转动时，所述第三移动单元受所述第三驱动单元的驱动而带动所述活动承载台相对于所述模块本体进行所述第三轴向移动。