[实用新型]芯片快速定位装置有效
| 申请号： | 201920661328.6 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN209880572U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 项刚;谭军;金琦 | 申请（专利权）人： | 四川九州光电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44256 深圳市凯达知识产权事务所 | 代理人： | 刘大弯 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电动滑台 上端固定 定位结构 高速定位 支撑板 本实用新型 原点感应器 定位转轴 支撑垫块 芯片 连接板 快速定位装置 空芯轴电机 视觉处理 重复定位 转接 兼容性 转接头 两组 支撑 | ||
1.一种芯片快速定位装置，包括电动滑台连接板(1)，其特征在于：所述电动滑台连接板(1)上端固定连接有定位结构支撑板(2)和高速定位电动滑台(3)，且定位结构支撑板(2)设置有两组，所述高速定位电动滑台(3)位于定位结构支撑板(2)之间，所述高速定位电动滑台(3)上端固定连接有定位转轴支撑垫块(4)，所述定位转轴支撑垫块(4)上端固定连接有R轴芯真空转接头(5)，所述R轴芯真空转接头(5)上端固定连接有R轴原点感应器(6)，所述R轴原点感应器(6)上端固定连接有R轴电机支撑块(7)，所述R轴电机支撑块(7)上端固定连接有芯片R轴空芯轴电机(8)，所述芯片R轴空芯轴电机(8)两侧均设有芯片识别不良垃圾筒(9)，所述芯片R轴空芯轴电机(8)输出端套接有芯片旋转定位头(10)，所述定位结构支撑板(2)上端之间固定连接有定位块支撑板(11)，所述定位块支撑板(11)内部固定安装有芯片四向定位块(12)，所述定位块支撑板(11)上方设置有芯片吸嘴垂直调节机构(13)，所述芯片吸嘴垂直调节机构(13)上方设置有相机X.Y.Z向调节机构(15)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片快速定位装置，其特征在于：所述芯片吸嘴垂直调节机构(13)一侧下端固定连接有芯片吸嘴(14)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片快速定位装置，其特征在于：所述相机X.Y.Z向调节机构(15)一侧固定连接有工业相机(16)，所述工业相机(16)下端固定连接有高清晰定倍镜头(17)。
4.根据权利要求1所述的一种芯片快速定位装置，其特征在于：所述R轴电机支撑块(7)两侧均固定连接有支撑板。
5.根据权利要求1所述的一种芯片快速定位装置，其特征在于：所述芯片识别不良垃圾筒(9)设置有两组，且分别与R轴电机支撑块(7)两侧的支撑板固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片快速定位装置，其特征在于：所述电动滑台连接板(1)芯片吸嘴垂直调节机构(13)和相机X.Y.Z向调节机构(15)均与机架固定安装。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
