[实用新型]一种载板及钝化设备

说明书

本实用新型涉及钝化处理技术领域，公开一种载板及钝化设备。所述载板包括用于容纳工件的容置位，所述容置位上沿所述载板的厚度方向设置有至少两个容置槽，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽的面积依次减小，工件可选地放置于任一个所述容置槽中。本实用新型通过设置面积不等的容置槽，能够容纳不同尺寸的工件，提高载板的通用性。

技术领域

本实用新型涉及钝化处理技术领域，尤其涉及一种载板及钝化设备。

背景技术

光伏发电是利用半导体界面的光生伏特效应而将光能直接转变为电能的一种技术，具有能源清洁、可再生的优势，因此太阳能电池片的制备也受到广泛重视。为了降低太阳能表面因反射损失的光能量，可以在电池片的表面制备钝化膜，以起到表面钝化和减少反射的作用，从而提高电池片的光电流和光电转化效率。

现有的钝化设备包括腔室，腔室内放置用于装载电池片的载板，载板具有与电池片形状和尺寸适配的凹槽。现有技术中，载板仅适用于某一种特定尺寸电池片，通用性较差。若针对每一种电池片都设计单独的载板，则载板的生产成本较高。因此，亟需提供一种载板及钝化设备以解决上述问题。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种载板及钝化设备，载板能够用于至少两种尺寸的工件的钝化工艺。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种载板，所述载板包括用于容纳工件的容置位，所述容置位上沿所述载板的厚度方向设置有至少两个容置槽，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽的面积依次减小，工件可选地放置于任一个所述容置槽中。

作为一种载板的优选方案，位于最下层的所述容置槽的底部设置有沉槽。

作为一种载板的优选方案，所述沉槽的底部设置有通孔。

作为一种载板的优选方案，所述容置槽的内侧壁设置有凹槽，所述凹槽朝向背离所述容置槽中心的方向凹陷。

作为一种载板的优选方案，所述容置槽为多边形，所述凹槽位于所述容置槽的边角处。

作为一种载板的优选方案，所述容置槽的内侧壁设置有导向结构。

作为一种载板的优选方案，所述内侧壁的上部朝向背离所述容置槽中心的方向倾斜设置形成所述导向结构。

作为一种载板的优选方案，所述容置位设置有多个。

作为一种载板的优选方案，至少一个所述容置槽包括呈阵列分布的多个子槽。

一种钝化设备，包括腔体，所述腔体内设置有沉积装置，还包括以上任一方案所述的载板，所述载板设置于所述腔体中，并位于沉积装置的下侧。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供了一种载板，能够用于工件的钝化设备中，载板包括用于容纳工件的容置位，容置位上沿载板的厚度方向设置有至少两个容置槽，且沿该厚度方向由上至下容置槽的面积依次减小，容置槽的尺寸可以与工件的尺寸适配，通过设置面积不等的容置槽，能够容纳不同尺寸的工件，提高载板的通用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的载板的俯视图；

图2是本实用新型提供的容置位的一种结构的俯视图；

图3是本实用新型提供的容置位的一种结构的剖视图；