[实用新型]一种边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置有效
| 申请号： | 201920665312.2 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN210109551U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 薛征;叶日铨;黄志凯;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 光刻 去除 装置 胶涂布 | ||
1.一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，包括：
溶剂输送管道；
溶剂喷嘴，连接于所述溶剂输送管道一端，用于向晶圆背面边缘喷洒溶剂；
溶剂遮挡板，连接于所述溶剂输送管道，所述溶剂遮挡板从所述晶圆背面绕到所述晶圆上方，并从所述晶圆上方往所述晶圆正面的边缘延伸，但不与所述晶圆表面接触。
2.根据权利要求1所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板从所述晶圆上方往所述晶圆正面边缘延伸的部分相对于水平面倾斜。
3.根据权利要求2所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板从所述晶圆上方往所述晶圆正面边缘延伸的部分的内侧面倾斜角度范围是10°-80°。
4.根据权利要求2所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板从所述晶圆上方往所述晶圆正面边缘延伸的部分的外侧面倾斜角度范围是10°-80°。
5.根据权利要求1所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板从所述晶圆上方往所述晶圆正面边缘延伸的部分的末端不超出所述晶圆的侧面。
6.根据权利要求1所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板与所述溶剂输送管道之间的固定方式包括焊接、紧固、卡固中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板至少包括一段平面挡板。
8.根据权利要求1所述的边缘光刻胶去除装置，其特征在于：所述溶剂遮挡板至少包括一段弧面挡板。
9.一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述光刻胶涂布装置包括如权利要求1至8任意一项所述的边缘光刻胶去除装置。
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