[实用新型]一种腔体观察分析装置有效
申请号: | 201920677086.X | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN209607708U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 叶文君;田好;陈光全 | 申请(专利权)人: | 丰豹智能科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 陆滢炎 |
地址: | 201306 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内窗体 石英玻璃 缓冲垫 外窗体 腔体 分析装置 外侧设置 观察 打光 种腔 本实用新型 采集数据 多次使用 清洗维修 实时发送 实时分析 实时监控 外侧边缘 眼睛观察 分析仪 观察窗 探头孔 探头 拆卸 卡入 螺丝 探孔 分析 | ||
1.一种腔体观察分析装置,包括内窗体(2),其特征在于:所述内窗体(2)的外侧设置有外窗体(1),所述内窗体(2)的另一侧设置有腔体(3),且内窗体(2)一部分卡入腔体(3)的内部,所述外窗体(1)的内侧设置有石英玻璃(4),所述石英玻璃(4)的外侧边缘设置有缓冲垫(8),所述缓冲垫(8)、石英玻璃(4)、腔体(3)、内窗体(2)和外窗体(1)的内部均设置有探头孔(7),所述缓冲垫(8)的外侧设置有第一螺丝(5),所述外窗体(1)的外侧设置有第二螺丝(6),所述外窗体(1)的内部开设有第一外窗体螺孔(9),所述第一外窗体螺孔(9)的一侧开设有玻璃内螺孔(14);
所述外窗体(1)与内窗体(2)之间设置有支撑凸台(12),且支撑凸台(12)卡入外窗体(1)的内部,所述支撑凸台(12)的内部对应玻璃内螺孔(14)的位置开设有第二螺槽(13),所述石英玻璃(4)的内部对应第二螺槽(13)和玻璃内螺孔(14)的位置开设有第二外窗体螺孔(15),所述内窗体(2)的内部对应第一外窗体螺孔(9)的位置处开设有内窗体螺孔(10),所述腔体(3)的内部对应内窗体螺孔(10)和第一外窗体螺孔(9)的位置开设有第一螺槽(11)。
2.根据权利要求1所述的一种腔体观察分析装置,其特征在于:所述外窗体(1)、内窗体(2)和腔体(3)通过第二螺丝(6)贯穿第一外窗体螺孔(9)、内窗体螺孔(10)卡入第一螺槽(11)进行固定。
3.根据权利要求1所述的一种腔体观察分析装置,其特征在于:所述支撑凸台(12)、石英玻璃(4)与外窗体(1)通过第一螺丝(5)贯穿玻璃内螺孔(14)、缓冲垫(8)和第二外窗体螺孔(15)卡入第二螺槽(13)进行固定。
4.根据权利要求1所述的一种腔体观察分析装置,其特征在于:所述腔体(3)、内窗体(2)和外窗体(1)内侧均开设有圆形孔道。
5.根据权利要求1所述的一种腔体观察分析装置,其特征在于:所述缓冲垫(8)为一种扁平的圆环形橡胶构件。
6.根据权利要求1所述的一种腔体观察分析装置,其特征在于:所述石英玻璃(4)为一种扁平的圆柱体结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造