[实用新型]一种腔体观察分析装置

说明书

本实用新型公开了一种腔体观察分析装置，包括内窗体，所述内窗体的外侧设置有外窗体，所述内窗体的另一侧设置有腔体，且内窗体一部分卡入腔体的内部，所述外窗体的内侧设置有石英玻璃，所述石英玻璃的外侧边缘设置有缓冲垫，所述缓冲垫、石英玻璃、腔体、内窗体和外窗体的内部均设置有探头孔，所述缓冲垫的外侧设置有第一螺丝；观察窗可以拆卸，安装更换起来很方便，多次使用后清洗维修也很方便，观察窗上开设有探孔槽，可以安装各种分析仪的探头，无需打光观察内部，可以实现自动打光，方便了眼睛观察，同时采集数据并将数据实时发送至分析仪，实时分析，实时监控，且结构简单，容易操作。

技术领域

本实用新型属于芯片加工技术领域，具体涉及一种腔体观察分析装置。

背景技术

在目前半导体芯片加工领域，加工中部分工站需要在密封的真空腔体内进行加工，同时加工过程中需要观察腔体内部工作状况，经行监测，调整。

现有的观察方式是在箱体上透过一个小的石英玻璃观察口，掀开挡光板，手动往里打光，眼睛观察内部状况，进行分析加工调整，但是在封闭腔体真空环境中，这种观察方式显得非常的不便，而且肉眼观察并不能实现彻底的实时观测，眼睛观察会出现误差，导致调整时出现误调的问题，为此我们提出一种腔体观察分析装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种腔体观察分析装置，以解决上述背景技术中提出的现有的观察方式是在箱体上透过一个小的石英玻璃观察口，掀开挡光板，手动往里打光，眼睛观察内部状况，进行分析加工调整，但是在封闭腔体真空环境中，这种观察方式显得非常的不便，而且肉眼观察并不能实现彻底的实时观测，眼睛观察会出现误差，导致调整时出现误调的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种腔体观察分析装置，包括内窗体，所述内窗体的外侧设置有外窗体，所述内窗体的另一侧设置有腔体，且内窗体一部分卡入腔体的内部，所述外窗体的内侧设置有石英玻璃，所述石英玻璃的外侧边缘设置有缓冲垫，所述缓冲垫、石英玻璃、腔体、内窗体和外窗体的内部均设置有探头孔，所述缓冲垫的外侧设置有第一螺丝，所述外窗体的外侧设置有第二螺丝，所述外窗体的内部开设有第一外窗体螺孔，所述第一外窗体螺孔的一侧开设有玻璃内螺孔；

所述外窗体与内窗体之间设置有支撑凸台，且支撑凸台卡入外窗体的内部，所述支撑凸台的内部对应玻璃内螺孔的位置开设有第二螺槽，所述石英玻璃的内部对应第二螺槽和玻璃内螺孔的位置开设有第二外窗体螺孔，所述内窗体的内部对应第一外窗体螺孔的位置处开设有内窗体螺孔，所述腔体的内部对应内窗体螺孔和第一外窗体螺孔的位置开设有第一螺槽。

优选的，所述外窗体、内窗体和腔体通过第二螺丝贯穿第一外窗体螺孔、内窗体螺孔卡入第一螺槽进行固定。

优选的，所述支撑凸台、石英玻璃与外窗体通过第一螺丝贯穿玻璃内螺孔、缓冲垫和第二外窗体螺孔卡入第二螺槽进行固定。

优选的，所述腔体、内窗体和外窗体内侧均开设有圆形孔道。

优选的，所述缓冲垫为一种扁平的圆环形橡胶构件。

优选的，所述石英玻璃为一种扁平的圆柱体结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，观察窗可以拆卸，安装更换起来很方便，多次使用后清洗维修也很方便。

2、本实用新型中，观察窗上开设有探孔槽，可以安装各种分析仪的探头，无需打光观察内部，可以实现自动打光，方便了眼睛观察，同时采集数据并将数据实时发送至分析仪，实时分析，实时监控，且结构简单，容易操作。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图；

图2为本实用新型的侧面结构示意图；