[实用新型]一种平面靶材的校平设备有效
申请号: | 201920685496.9 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN210085566U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 文锋 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平面 设备 | ||
1.一种平面靶材的校平设备,校平设备包括用于加热平面靶材(5)的加热平台(2)和施压机构,平面靶材(5)放置于加热平台(2)的台面,施压机构活动设置在加热平台(2)的上方,施压机构具有至少一个抵压杆(35),每个抵压杆(35)具有竖直向下的运动趋势,其特征在于:校平设备设置有纵向移动机构和拱度检测装置,
纵向移动机构,用作带动抵压杆(35)沿平面靶材(5)的长度方向往复移动,纵向移动机构包括有移动底座(33)和底座驱动机构,移动底座(33)移动安装于加热平台(2)的一侧,移动底座(33)的移动轨迹的纵向长度不小于平面靶材(5)的长度,底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构,底座驱动机构驱动连接移动底座(33),施压机构固接于移动底座(33),抵压杆(35)始终竖直对齐平面靶材(5);
拱度检测装置,用作测量平面靶材(5)的拱度,拱度检测装置固定安装于移动底座(33)或施压机构,以实现拱度检测装置与施压机构同步移动。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的校平设备,其特征在于:在所述加热平台(2)一侧,设置有滑动安装于移动导轨的所述移动底座(33),移动导轨设置为直线导轨,移动导轨与加热平台(2)间隔设置,所述平面靶材(5)的长边与移动导轨平行,移动导轨的长度不小于平面靶材(5)的长度,所述底座驱动机构驱动连接这一移动底座(33),所述拱度检测装置固定安装于这一移动底座(33)或所述施压机构。
3.根据权利要求1所述的一种平面靶材的校平设备,其特征在于:在所述加热平台(2)一侧,设置有仅安装于驱动丝杆(32)的所述移动底座(33),所述底座驱动机构具有至少两根驱动丝杆(32),各驱动丝杆(32)分别横向并排设置在加热平台(2)的旁侧,并且,各驱动丝杆(32)的轴线方向均与所述平面靶材(5)的长度方向相同,驱动丝杆(32)的长度不小于平面靶材(5)的长度,这一移动底座(33)的底部固定有至少两个丝杆螺母副,各丝杆螺母副分别连接各相应的驱动丝杆(32);
底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构,手动驱动结构设置有丝杆驱动手轮,电机驱动结构设置有丝杆驱动电机(41),各驱动丝杆(32)分别传动连接于丝杆驱动手轮(45)或丝杆驱动电机(41)。
4.根据权利要求1所述的一种平面靶材的校平设备,其特征在于:所述纵向移动机构包括至少一光杆(31)和驱动丝杆(32),各光杆(31)和驱动丝杆(32)分别横向并排设置在所述加热平台(2)的旁侧,它们的轴线方向均与所述平面靶材(5)的长度方向相同,它们的长度不小于平面靶材(5)的长度,这一移动底座(33)的底部固定有一个丝杆螺母副和至少一光杆(31)套,丝杆螺母副连接这一驱动丝杆(32),各光杆(31)套分别滑动套设于相应的光杆(31)。
5.根据权利要求4所述的一种平面靶材的校平设备,其特征在于:所述校平设备包括有一工作台(1),所述加热平台(2)固定于工作台(1)的台面,工作台(1)的台面相对的两侧分别固接有一光杆(31)固定座,加热平台(2)的旁侧设置有一所述光杆(31),光杆(31)的两端通过光杆(31)固定座固定于工作台(1),光杆(31)与加热平台(2)间隔设置,放置于加热平台(2)的台面的所述平面靶材(5)的长度方向与光杆(31)的轴线方向相同;
工作台(1)的台面相对的两侧分别固接有一丝杆固定座,在光杆(31)远离加热平台(2)的一侧设置有一所述驱动丝杆(32),驱动丝杆(32)的两端通过轴承分别安装于相应的丝杆固定座,驱动丝杆(32)与光杆(31)间隔设置,驱动丝杆(32)与光杆(31)相平行;
所述移动底座(33)的底部固定有两个所述光杆(31)套以及以一个所述丝杆螺母副,两个光杆(31)套共同滑动套设于这一光杆(31),丝杆螺母副螺纹连接于这一驱动丝杆(32);
驱动丝杆(32)的其中一端部设置有丝杆变速箱(42),丝杆变速箱(42)的动力输出端连接于驱动丝杆(32),丝杆变速箱(42)的动力输入端连接有一丝杆驱动电机(41)。
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