[实用新型]一种平面靶材的校平设备

说明书

本实用新型公开了一种平面靶材的校平设备，校平设备设置有纵向移动机构和拱度检测装置，纵向移动机构，用作带动抵压杆沿平面靶材的长度方向往复移动，纵向移动机构包括有移动底座和底座驱动机构，移动底座移动安装于加热平台的一侧，移动底座的移动轨迹的纵向长度不小于平面靶材的长度，底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构，底座驱动机构驱动连接移动底座，施压机构固接于移动底座，抵压杆始终竖直对齐平面靶材；拱度检测装置，用作测量平面靶材的拱度，拱度检测装置固定安装于移动底座或施压机构。与现有技术相比，该校平装置能够对平面靶材进行高精度的热压校平，不会损坏靶材，校平时间短，校平效果好。

技术领域

本实用新型涉及平面靶材制造设备技术领域，尤其是涉及一种平面靶材的校平设备。

背景技术

平面靶材是将靶材贴合在背板上，从而形成能够实现溅射加工的靶材原料。在靶材与背板进行绑定时，需要在加热平台上进行，由于背板材料与靶材的膨胀系数不同，以及背板与靶材在绑定过程中所达到的温度不同，绑定所得的平面靶材，必然会因为背板与靶材发生不同程度的表征变化，导致平面靶材出现正拱或反拱。这些出现在靶材基片的正拱或反拱的凹凸高度相对理想平面的偏差过大时，会导致靶材基片的溅射膜层均匀度不够，薄膜的成膜质量差。

所以，在进行溅射镀膜前，需要对绑定所得的平面靶材进行平面校平处理，而在现有技术中，一般采用铁块施压整平，这种校平工具容易对靶材表面造成刮痕，而且由于铁块重量大，导致操作难度大，容易压坏质脆和质软的平面靶材，如ITO平面靶材、纯铝平面靶材等。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种平面靶材的校平设备，它能够对平面靶材进行有效的整平，平面靶材的平面度误差能够减小至 0.8mm，并且不会损坏平面靶材。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种平面靶材的校平设备，校平设备包括用于加热平面靶材的加热平台和施压机构，平面靶材放置于加热平台的台面，施压机构活动设置在加热平台的上方，施压机构具有至少一个抵压杆，每个抵压杆具有竖直向下的运动趋势，校平设备设置有纵向移动机构和拱度检测装置，纵向移动机构，用作带动抵压杆沿平面靶材的长度方向往复移动，纵向移动机构包括有移动底座和底座驱动机构，移动底座移动安装于加热平台的一侧，移动底座的移动轨迹的纵向长度不小于平面靶材的长度，底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构，底座驱动机构驱动连接移动底座，施压机构固接于移动底座，抵压杆始终竖直对齐平面靶材；拱度检测装置，用作测量平面靶材的拱度，拱度检测装置固定安装于移动底座或施压机构。通过拱度检测装置与试压机构同步设置，对平面靶材进行高精度的热压校平，不会损坏靶材，校平时间短，校平效果好。

在进一步的技术方案中，在该加热平台一侧，设置有滑动安装于移动导轨的该移动底座，移动导轨设置为直线导轨，移动导轨与加热平台间隔设置，该平面靶材的长边与移动导轨平行，移动导轨的长度不小于平面靶材的长度，该底座驱动机构驱动连接这一移动底座，该拱度检测装置固定安装于这一移动底座或该施压机构。

在进一步的技术方案中，在该加热平台一侧，设置有仅安装于驱动丝杆的该移动底座，该底座驱动机构具有至少两根驱动丝杆，各驱动丝杆分别横向并排设置在加热平台的旁侧，并且，各驱动丝杆的轴线方向均与该平面靶材的长度方向相同，驱动丝杆的长度不小于平面靶材的长度，这一移动底座的底部固定有至少两个丝杆螺母副，各丝杆螺母副分别连接各相应的驱动丝杆；底座驱动机构设置为手动驱动结构或电机驱动结构，手动驱动结构设置有丝杆驱动手轮，电机驱动结构设置有丝杆驱动电机，各驱动丝杆分别传动连接于丝杆驱动手轮或丝杆驱动电机。

在进一步的技术方案中，该纵向移动机构包括至少一光杆和驱动丝杆，各光杆和驱动丝杆分别横向并排设置在该加热平台的旁侧，它们的轴线方向均与该平面靶材的长度方向相同，它们的长度不小于平面靶材的长度，这一移动底座的底部固定有一个丝杆螺母副和至少一光杆套，丝杆螺母副连接这一驱动丝杆，各光杆套分别滑动套设于相应的光杆。