[实用新型]一种基于磁性开关控制的门阀装置

权利要求书

1.一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，其特征在于：所述门阀装置包括阀壳（1）、驱动气缸（2）、连接杆（3）、传输通道（6）、磁性开关（7）和阀板（8）；

所述阀壳（1）的一侧开设有供芯片传输的传输通道（6），所述传输通道（6）的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳（1）内部设置有用于隔档所述传输通道（6）的阀板（8）；所述驱动气缸（2）通过所述连接杆（3）连接到所述阀板（8）上通过所述驱动气缸（2）推动所述阀板（8）到所述传输通道（6）处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸（2）上设置有所述磁性开关（7）。

2.根据权利要求1所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述门阀上安装有两个驱动气缸（2），每个驱动气缸上均设置有所述磁性开关（7），通过所述磁性开关（7）接收控制信号实现对两个驱动气缸的同步控制。

3.根据权利要求2所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：设置在两个驱动气缸（2）上的两个磁性开关（7）相互并联后与PLC控制模块电连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：每个磁性开关（7）均包括开到位磁性开关和关到位磁性开关；两个磁性开关的开到位磁性开关相互并联后与PLC控制模块电连接，两个磁性开关的关到位磁性开关相互并联后与PLC控制模块电连接。

5.根据权利要求2所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：每个驱动气缸通过多个气缸支撑杆（4）与所述阀壳（1）连接固定；所述连接杆外部设置有护罩（5）。

6.根据权利要求1所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述阀板（8）安装在所述传输通道（6）临近所述驱动气缸（2）的一侧；所述阀板（8）从上到下依次包括密封阀板（81）、推动阀板（82）和滑动阀板（83）；所述连接杆（3）一端通过铰接块（13）连接到所述推动阀板（82）上，另一端通过铰接块（13）连接在所述驱动气缸（2）的活塞杆上。

7.根据权利要求6所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述密封阀板（81）和所述推动阀板（82）之间以及所述推动阀板（82）和所述滑动阀板（83）之间设置有滑动钢球（12）。

8.根据权利要求6所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述推动阀板（82）中间设置有一弹性钢片（11）；所述弹性钢片（11）通过连接螺栓连接在所述密封阀板（81）和所述滑动阀板（83）上。

9.根据权利要求6所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述密封阀板（81）临近所述阀壳（1）的一面上设置有密封圈（10），通过所述密封圈（10）与所述阀壳（1）紧密贴合，实现两个工艺腔室的高真空隔离。

10.根据权利要求6所述的一种基于磁性开关控制的门阀装置，其特征在于：所述传输通道（6）远离所述驱动气缸（2）的一侧设置有用于阻挡所述滑动阀板（83）的挡块（9）；所述挡块（9）的高度不超过所述滑动阀板（83）的厚度。