[实用新型]一种基于磁性开关控制的门阀装置

说明书

本实用新型公开了一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，所述门阀装置包括阀壳、驱动气缸、连接杆、传输通道、磁性开关和阀板；所述阀壳的一侧开设有供芯片传输的传输通道，所述传输通道的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳内部设置有用于隔档所述传输通道的阀板；所述驱动气缸通过所述连接杆连接到所述阀板上通过所述驱动气缸推动所述阀板到所述传输通道处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸上设置有所述磁性开关。通过在两个驱动气缸上加装磁性开关传感装置，使应用在CIGS共蒸发镀膜沉积设备上的矩形门阀输出的开到位和关到位信号更加稳定。

技术领域

本实用新型涉及一种门阀装置，尤其涉及一种基于磁性开关控制的门阀装置。

背景技术

在太阳能电池领域，CIGS薄膜电池因其弱光性能好、抗衰减性强、更环保等特点，近年来发展迅速，转换效率不断提高，相关产品应用前景广阔；而在 CIGS共蒸发镀膜沉积制造工艺过程中，功能性腔室由门阀连接起来，门阀主要起到高真空隔离的作用，保证了工艺腔室的工艺稳定性和芯片“传入→镀膜→传出”生产过程的连续性，而门阀控制的同步性和精确性将严重影响两个工艺腔室高真空隔离的有效性，如果不能对两个工艺腔室进行有效的高真空隔离就容易导致工艺腔室内多块芯片的报废，严重影响生产的稳定性。

因此，如何对门阀装置的精确控制是现阶段需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种基于磁性开关控制的门阀装置，能够对门阀进行精确同步的控制，实现对工艺腔室的有效高真空隔离。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，所述门阀装置包括阀壳、驱动气缸、连接杆、传输通道、磁性开关和阀板；

所述阀壳的一侧开设有供芯片传输的传输通道，所述传输通道的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳内部设置有用于隔档所述传输通道的阀板；所述驱动气缸通过所述连接杆连接到所述阀板上通过所述驱动气缸推动所述阀板到所述传输通道处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸上设置有所述磁性开关。

所述门阀上安装有两个驱动气缸，每个驱动气缸上均设置有所述磁性开关，通过所述磁性开关接收控制信号实现对两个驱动气缸的同步控制。

设置在两个驱动气缸上的两个磁性开关相互并联后与PLC控制模块电连接。

每个磁性开关均包括开到位磁性开关和关到位磁性开关；两个磁性开关的开到位磁性开关相互并联后与PLC控制模块电连接，两个磁性开关的关到位磁性开关相互并联后与PLC控制模块电连接。

每个驱动气缸通过多个气缸支撑杆与所述阀壳连接固定；所述连接杆外部设置有护罩。

所述阀板安装在所述传输通道临近所述驱动气缸的一侧；所述阀板从上到下依次包括密封阀板、推动阀板和滑动阀板；所述连接杆一端通过铰接块连接到所述推动阀板上，另一端通过铰接块连接在所述驱动气缸的活塞杆上。

所述密封阀板和所述推动阀板之间以及所述推动阀板和所述滑动阀板之间设置有滑动钢球。

所述推动阀板中间设置有一弹性钢片；所述弹性钢片通过连接螺栓连接在所述密封阀板和所述滑动阀板上。

所述密封阀板临近所述阀壳的一面上设置有密封圈，通过所述密封圈与所述阀壳紧密贴合，实现两个工艺腔室的高真空隔离。

所述传输通道远离所述驱动气缸的一侧设置有用于阻挡所述滑动阀板的挡块；所述挡块的高度不超过所述滑动阀板的厚度。