[实用新型]大面积多喷头喷涂设备

权利要求书

1.一种大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室（1）以及设置于所述喷涂腔室（1）内的工作面板（15）；其特征是：还包括位于工作面板（15）上的真空吸盘（23）、设置于所述喷涂腔室（1）内的喷头固定板（20）以及若干设置于所述喷头固定板（20）上的喷头，喷头在喷头固定板（20）上呈直线排列，喷头固定板（20）位于工作面板（15）上方，喷头固定板（20）与用于驱动所述喷头固定板（20）运动的运动驱动机构连接；

通过运动驱动机构使得喷头固定板（20）上的喷头位于真空吸盘（23）上样品（31）的喷涂范围时，喷头固定板（20）上的喷头按进入样品（31）喷涂范围的顺序依次打开；通过运动驱动机构驱动喷头对样品（31）进行运动喷射时，每个喷头对样品（31）喷射的运动路径包括若干与喷头间排列长度方向垂直的第一喷射路径以及若干与喷头间排列长度方向一致的第二喷射路径，第一喷射路径与第二喷射路径依次连接；喷头移出样品（31）的喷射范围时，喷头固定板（20）上的喷头脱离样品（31）喷射范围的顺序依次关闭。

2.根据权利要求1所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：所述运动驱动机构包括设置于工作面板（15）上的X轴机械手（17）、Y轴机械手（16）、Z轴机械手（19）以及线性导轨滑块（22），线性导轨滑块（22）与Y轴机械手（16）相互平行，X轴机械手（17）的两端分别与线性导轨滑块（22）以及Y轴机械手（16）连接，Z轴机械手（19）与X轴机械手（17）连接，喷头固定板（20）与Z轴机械手（19）固定，喷头在喷头固定板（20）上排列的长度方向与Y轴机械手（16）、线性导轨滑块（22）相互平行；喷头固定板（20）能在Z轴机械手（19）上升降，Z轴机械手（19）能在X轴机械手（17）上沿X轴机械手（17）的长度方向运动，X轴机械手（17）能在Y轴机械手（16）、线性导轨滑块（22）上沿Y轴机械手（16）的长度方向运动；喷头喷射的第一喷射路径的方向与X轴机械手（17）的长度方向相一致，喷头喷射的第二喷射路径的方向与Y轴机械手（16）的长度方向相一致。

3.根据权利要求2所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：在所述喷头固定板（20）的两侧设置拉臂（18），所述拉臂（18）的两端分别与喷头固定板（20）以及Z轴机械手（19）连接，且拉臂（18）与Z轴机械手（19）的结合部位于拉臂（18）与喷头固定板（20）的结合部上方。

4.根据权利要求1所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：在所述工作面板（15）上设置与真空吸盘（23）适配连接的加热吸盘（24）以及所述加热吸盘（24）位于加热器（25）上，所述加热器（25）支撑于隔热板（26）上，所述隔热板（26）通过垫块底座（27）支撑于工作面板（15）上，所述真空吸盘（23）与加热吸盘（24）间采用可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：在加热吸盘（24）上设置若干用于压紧真空吸盘（23）的挡块（28），在真空吸盘（23）上设置对称分布的吸盘把手（29），在真空吸盘（23）的中心区设置真空吸盘吸附孔（30）。

6.根据权利要求1所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：在所述喷涂腔室（1）的背部设置排风口，在喷涂腔室（1）的正面设置可开关的腔室门板（13）。

7.根据权利要求1所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：还包括能对喷涂腔室（1）进行支撑的支撑柜，在所述支撑柜的底部设置若干均匀分布的支撑脚（4），在支撑柜的侧面设置可拆卸的维护门板（3）。

8.根据权利要求7所述的大面积多喷头喷涂设备，其特征是：在支撑柜的正面设置可开关的柜门（5），在柜门（5）上设置柜门拉手（9）；在支撑柜的上部还设置用于显示真空吸盘（23）内真空度的真空表（10）以及用于调节喷头吹扫压力的电气比例阀（8）。