[实用新型]大面积多喷头喷涂设备

说明书

本实用新型涉及一种喷涂设备，尤其是一种大面积多喷头喷涂设备，属于喷涂设备的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室以及设置于所述喷涂腔室内的工作面板；还包括位于工作面板上的真空吸盘、设置于所述喷涂腔室内的喷头固定板以及若干设置于所述喷头固定板上的喷头，喷头在喷头固定板上呈直线排列，喷头固定板位于工作面板上方，喷头固定板与用于驱动所述喷头固定板运动的运动驱动机构连接；本实用新型能提高喷涂效率以及喷涂的均匀性，使用方便，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种喷涂设备，尤其是一种大面积多喷头喷涂设备，属于喷涂设备的技术领域。

背景技术

在MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）领域，大尺寸器件制作中样品涂胶均匀性一直是一个难题。目前常用的方法是提拉法，即样品放入胶水中，然后快速提拉出来，这种方法样品表面胶的厚度不均匀，样品非曝光面会沾有大量光刻胶，后期清洗费时费力。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种大面积多喷头喷涂设备，其能提高喷涂效率以及喷涂的均匀性，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室以及设置于所述喷涂腔室内的工作面板；还包括位于工作面板上的真空吸盘、设置于所述喷涂腔室内的喷头固定板以及若干设置于所述喷头固定板上的喷头，喷头在喷头固定板上呈直线排列，喷头固定板位于工作面板上方，喷头固定板与用于驱动所述喷头固定板运动的运动驱动机构连接；

通过运动驱动机构使得喷头固定板上的喷头位于真空吸盘上样品的喷涂范围时，喷头固定板上的喷头按进入样品喷涂范围的顺序依次打开；通过运动驱动机构驱动喷头对样品进行运动喷射时，每个喷头对样品喷射的运动路径包括若干与喷头间排列长度方向垂直的第一喷射路径以及若干与喷头间排列长度方向一致的第二喷射路径，第一喷射路径与第二喷射路径依次连接；喷头移出样品的喷射范围时，喷头固定板上的喷头脱离样品喷射范围的顺序依次关闭。

所述运动驱动机构包括设置于工作面板上的X轴机械手、Y轴机械手、Z轴机械手以及线性导轨滑块，线性导轨滑块与Y轴机械手相互平行，X轴机械手的两端分别与线性导轨滑块以及Y轴机械手连接，Z轴机械手与X轴机械手连接，喷头固定板与Z轴机械手固定，喷头在喷头固定板上排列的长度方向与Y轴机械手、线性导轨滑块相互平行；喷头固定板能在Z轴机械手上升降，Z轴机械手能在X轴机械手上沿X轴机械手的长度方向运动，X轴机械手能在Y轴机械手、线性导轨滑块上沿Y轴机械手的长度方向运动；喷头喷射的第一喷射路径的方向与X轴机械手的长度方向相一致，喷头喷射的第二喷射路径的方向与Y轴机械手的长度方向相一致。

在所述喷头固定板的两侧设置拉臂，所述拉臂的两端分别与喷头固定板以及Z轴机械手连接，且拉臂与Z轴机械手的结合部位于拉臂与喷头固定板的结合部上方。

在所述工作面板上设置与真空吸盘适配连接的加热吸盘以及所述加热吸盘位于加热器上，所述加热器支撑于隔热板上，所述隔热板通过垫块底座支撑于工作面板上，所述真空吸盘与加热吸盘间采用可拆卸连接。

在加热吸盘上设置若干用于压紧真空吸盘的挡块，在真空吸盘上设置对称分布的吸盘把手，在真空吸盘的中心区设置真空吸盘吸附孔。

在所述喷涂腔室的背部设置排风口，在喷涂腔室的正面设置可开关的腔室门板。

还包括能对喷涂腔室进行支撑的支撑柜，在所述支撑柜的底部设置若干均匀分布的支撑脚，在支撑柜的侧面设置可拆卸的维护门板。

在支撑柜的正面设置可开关的柜门，在柜门上设置柜门拉手；在支撑柜的上部还设置用于显示真空吸盘内真空度的真空表以及用于调节喷头吹扫压力的电气比例阀。