[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的结构

权利要求书

1.一种应用于半导体废气处理设备的结构，其特征在于，包括机柜(1)，所述机柜(1)内安装有废气处理系统，所述废气处理系统包括气动三通阀(2)，所述气动三通阀(2)下端连接对废气进行第一步净化的反应腔(3)，所述反应腔(3)上端连接将废气进行燃烧的等离子体火炬(4)且其下端设有对废气进行第二步净化的循环水箱(5)，所述循环水箱(5)连接对废气进行第三步净化的水洗塔(6)，所述循环水箱(5)上设有水泵(7)，所述水泵(7)连接有循环水管(8)，所述循环水管(8)通过水管连接水洗塔(6)上的水管连接头(9)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体废气处理设备的结构，其特征在于：所述反应腔(3)下端卡箍连接溢流部一(10)，所述溢流部一(10)下端连接循环水箱(5)，所述溢流部一(10)包括与反应腔(3)下端连接的溢流腔一(11)，所述溢流腔一(11)套接于溢流管(12)外且其侧面设有水流入口一(13)，所述水流入口一(13)连接车间自来水源。

3.根据权利要求2所述的一种应用于半导体废气处理设备的结构，其特征在于：所述水洗塔(6)上端设有溢流部二(14)，所述溢流部二(14)包括直径相同的上连接件(15)和下连接件(16)，所述上连接件(15)和下连接件(16)外套接溢流腔二(17)且其端面之间设有溢流口(18)，所述溢流腔二(17)上连接有水流入口二(19)，所述水流入口二(19)连接车间自来水源。

4.根据权利要求3所述的一种应用于半导体废气处理设备的结构，其特征在于：所述溢流部二(14)上卡箍连接上层水洗塔(20)，所述上层水洗塔(20)上设有套筒(21)，所述套筒(21)外端口设有连接件一(22)，所述连接件一(22)上安装有给上层水洗塔(20)通风的新风组合件(23)。

5.根据权利要求4所述的一种应用于半导体废气处理设备的结构，其特征在于：所述新风组合件(23)包括与连接件一(22)螺钉连接的连接件二(24)，所述连接件二(24)外设有四个沿其轴线呈环形排列的支撑柱(25)，所述支撑柱(25)另一端连接底板(26)，所述底板(26)上设有安装板(27)和气缸(28)，所述气缸(28)的活塞杆末端穿过底板(26)并连接通风件(29)，所述通风件(29)套于连接件二(24)、连接件一(22)和套筒(21)内，所述通风件(29)上设有数个进风孔(30)。