[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的结构

说明书

本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的结构，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括机柜，所述机柜内安装有废气处理系统，所述废气处理系统包括气动三通阀，通过设置等离子体火炬、反应腔、循环水箱和水洗塔，实现废气的处理，通过设置溢流部一和溢流部二，从而降低经反应腔反应后的气体温度，对有污垢的水洗塔塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少出口水气过多，本实用新型为半导体废气处理提供了一种选择，增加解决半导体废气处理的方案，处理废气安全可靠，范围广效率高。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业废气处理技术领域，具体涉及一种应用于半导体废气处理设备的结构。

背景技术

半导体废气多为有毒有害气体，对人体和环境危害严重，随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，半导体厂商由于企业内部设施的限制对废气处理设备有更多各类需求，对处理效率有更高要求，现有应用于半导体废气处理设备上的方案有多种但各具缺点，因此，技术人员提供了一种应用于半导体废气处理设备的结构，增加解决半导体废气处理的方案，为半导体废气处理提供更多选择。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于半导体废气处理设备的结构，增加解决半导体废气处理的方案，为半导体废气处理提供更多选择。

一种应用于半导体废气处理设备的结构，包括机柜，所述机柜内安装有废气处理系统，所述废气处理系统包括气动三通阀，所述气动三通阀下端连接对废气进行第一步净化的反应腔，所述反应腔上端连接将废气进行燃烧的等离子体火炬且其下端设有对废气进行第二步净化的循环水箱，所述循环水箱连接对废气进行第三步净化的水洗塔，所述循环水箱上设有水泵，所述水泵连接有循环水管，所述循环水管通过水管连接水洗塔上的水管连接头。

优选的，所述反应腔下端卡箍连接溢流部一，所述溢流部一下端连接循环水箱，所述溢流部一包括与反应腔下端连接的溢流腔一，所述溢流腔一套接于溢流管外且其侧面设有水流入口一，所述水流入口一连接车间自来水源。

优选的，所述水洗塔上端设有溢流部二，所述溢流部二包括直径相同的上连接件和下连接件，所述上连接件和下连接件外套接溢流腔二且其端面之间设有溢流口，所述溢流腔二上连接有水流入口二，所述水流入口二连接车间自来水源。

优选的，所述溢流部二上卡箍连接上层水洗塔，所述上层水洗塔上设有套筒，所述套筒外端口设有连接件一，所述连接件一上安装有给上层水洗塔通风的新风组合件。

优选的，所述新风组合件包括与连接件一螺钉连接的连接件二，所述连接件二外设有四个沿其轴线呈环形排列的支撑柱，所述支撑柱另一端连接底板，所述底板上设有安装板和气缸，所述气缸的活塞杆末端穿过底板并连接通风件，所述通风件套于连接件二、连接件一和套筒内，所述通风件上设有数个进风孔。

本实用新型的优点在于：通过设置等离子体火炬、反应腔、循环水箱和水洗塔，实现废气的处理，通过设置溢流部一和溢流部二，从而降低经反应腔反应后的气体温度，对有污垢的水洗塔塔壁进行水洗，通过在上层水洗塔上设置新风组合件，使得对上层水洗塔进行通风，减少出口水气过多，本实用新型为半导体废气处理提供了一种选择，增加解决半导体废气处理的方案，处理废气安全可靠，范围广效率高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中废气处理系统的结构示意图。

图3为本实用新型中溢流部二的结构示意图。

图4为本实用新型中溢流部二的各零件结构示意图。

图5为本实用新型中上层水洗塔的结构示意图。

图6为本实用新型中新风组合件的结构示意图。

图7为本实用新型中通风件的结构示意图。