[实用新型]整体式同心双平面抛光装置

权利要求书

1.整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：包括工作台(1)，工作台(1)上设有抛光液回收槽(11)，抛光液回收槽(11)内设有下抛光盘(2)，下抛光盘(2)与其下方的第一电机(3)连接；所述抛光液回收槽(11)上设有回收通道(12)；

所述下抛光盘(2)上方同心设有上抛光盘(4)，所述上抛光盘(4)通过环形导轨(41)与固定环(42)联接；所述工作台(1)的两侧各设有一立柱，其中一根立柱上安装有电动直线模组(5)，另一根立柱上安装有直线导轨(9)；所述电动直线模组(5)和直线导轨(9)的滑块上各固联一L型连接块(6)，对应的，所述固定环(42)上设有一对安装部(421)，两个安装部(421)分别与两个L型连接块(6)固联；两个安装部(421)通过设于它们上的电机安装支架(8)相连，电机安装支架(8)上设有用于驱动上抛光盘(4)转动的第二电机(81)；

所述下抛光盘(2)上设有一个用于放置限位环(7)的定位槽(21)，所述限位环(7)与下抛光盘(2)通过螺钉固联；所述限位环(7)的内径与上抛光盘(4)相适配；所述上抛光盘(4)上贴有上抛光垫(43)；所述下抛光盘(2)上，在位于限位环(7)内，贴有下抛光垫(22)；所述限位环(7)上均匀设有一组外高内低的进液通道(71)和一组外低内高的排液通道(72)，所述排液通道(72)和进液通道(71)呈交错间隔设置；与排液通道(72)相对应，所述定位槽(21)的外侧设有一组与排液通道(72)连通的呈外低内高的流道(24)。

2.根据权利要求1所述的整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：所述限位环(7)上设有3个沿周向呈两两120°间隔分布进液通道(71)和3个沿周向呈两两120°间隔分布排液通道(72)。

3.根据权利要求2所述的整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：所述进液通道(71)、排液通道(72)和流道(24)的斜度均为15～25°。

4.根据权利要求3所述的整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：所述定位槽(21)的外侧为一个向内倾斜的斜面(23)，所述斜面(23)的倾斜角度与进液通道(71)相同。

5.根据权利要求3所述的整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：所述进液通道(71)、排液通道(72)和流道(24)的直径为30～40mm。

6.根据权利要求1至5任一权利要求所述的整体式同心双平面抛光装置，其特征在于：所述第一电机(3)和第二电机(81)均为伺服电机。