[实用新型]一种TMA介质的蒸发系统

权利要求书

1.一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，

所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口设置有一蒸发瓶入口气动阀，在蒸发瓶出口设置有一蒸发瓶出口气动阀；

所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；

所述的第二TMA液体管道连接着蒸发瓶入口，第二TMA液体管道上设置有第二手动阀，所述第二手动阀与蒸发瓶入口气动阀之间还设置有第六气动阀；

所述的TMA气体管道设置有两个端口，一端口连接着蒸发瓶出口，另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀；

所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，连接处设置有第一节点，第二气体管道上还串联有第四手动阀、第二减压阀、惰性气体质量流量计以及第九气动阀。

2.根据权利要求1所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述在第二减压阀与惰性气体质量流量计之间还设置有第二管路附件。

3.根据权利要求2所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述第二管路附件与惰性气体质量流量计之间还设置有一通道，该通道连接在第二手动阀与第六气动阀之间，所述的通道上还串联有第二单向阀和第五手动阀。

4.根据权利要求3所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述的第二单向阀和第五手动阀之间还设置有第三通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与蒸发瓶出口之间的管道上，通道上还设置有第十气动阀。

5.根据权利要求4所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述第三通道、TMA气体质量流量计以及蒸发瓶出口之间的连接处还设置有一通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与第七气动阀之间的管道上，通道上还设置有第六手动阀。

6.根据权利要求1所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述第一节点与第三手动阀之间还设置有第二尾气处理管道。

7.根据权利要求1所述的一种TMA介质的蒸发系统，其特征在于：所述在蒸发瓶上还设置有一压力传感器和一温度传感器。