[实用新型]一种TMA介质的蒸发系统

说明书

本实用新型公开了一种TMA介质的蒸发系统，包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀；所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；所述的第二TMA液体管道连接着蒸发瓶入口；所述的TMA气体管道设置有两个端口，一端口连接着蒸发瓶出口，另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀；所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：通过增加独立的蒸发系统，改善生产工艺，达到了提高转换效率的目的。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体地说，是涉及一种TMA介质的蒸发系统。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一批化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

随着PECVD设备技术的发展，降成本、提高效率的要求越来越高，电池片的转换效率也需提高，PREC电池是当前最为有效提升晶体硅电池转换效率并有望形成量产的新工艺路线。为了提高电池硅片的转换效率，需在原有设备外增加独立气体蒸发系统，同时改善生产工艺，以达到提高转换效率的目的。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种TMA介质的蒸发系统，改善生产工艺，提高了转换效率，节约成本。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种TMA介质的蒸发系统，其改进之处在于：包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，

所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口设置有一蒸发瓶入口气动阀，在蒸发瓶出口设置有一蒸发瓶出口气动阀；

所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；

所述的第二TMA液体管道连接着蒸发瓶入口，第二TMA液体管道上设置有第二手动阀，所述第二手动阀与蒸发瓶入口气动阀之间还设置有第六气动阀；

所述的TMA气体管道设置有两个端口，一端口连接着蒸发瓶出口，另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀；

所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，连接处设置有第一节点，第二气体管道上还串联有第四手动阀、第二减压阀、惰性气体质量流量计以及第九气动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二减压阀与惰性气体质量流量计之间还设置有第二管路附件。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二管路附件与惰性气体质量流量计之间还设置有一通道，该通道连接在第二手动阀与第六气动阀之间，所述的通道上还串联有第二单向阀和第五手动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二单向阀和第五手动阀之间还设置有第三通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与蒸发瓶出口之间的管道上，通道上还设置有第十气动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第三通道、TMA气体质量流量计以及蒸发瓶出口之间的连接处还设置有一通道，该通道连接在TMA气体质量流量计与第七气动阀之间的管道上，通道上还设置有第六手动阀。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一节点与第三手动阀之间还设置有第二尾气处理管道。

作为上述技术方案的进一步改进，所述在蒸发瓶上还设置有一压力传感器和一温度传感器。