[实用新型]光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机有效
申请号: | 201920723069.5 | 申请日: | 2019-05-20 |
公开(公告)号: | CN210163519U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 黄永达 | 申请(专利权)人: | 江苏光腾光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/30;G02B1/10;C23C14/32 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 廖娜 |
地址: | 223300 江苏省淮*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 镀膜 角度 伞架 包含 | ||
1.一种光学镀膜多角度伞架,为若干扇形伞片固定在伞骨上组成的伞状结构,其特征在于,每个所述伞片中均包括扇形支架(1)和至少一个用于放置镀膜托盘(2)的支板(3),各所述支板(3)之间相互平行,各所述支板(3)的一端分别转动连接在所述支架(1)的一侧,且通过角度限位机构(4)限位固定,另一端均为自由端;在蒸镀时,所述镀膜托盘(2)上的待镀膜光学器件(5)的待镀膜表面与蒸发源垂直设置。
2.根据权利要求1所述的光学镀膜多角度伞架,其特征在于,所述角度限位机构(4)为具有支撑斜面的限位块(401),所述限位块(401)通过螺丝(15)与所述支架(1)固定连接,所述支板(3)依靠在所述限位块(401)的支撑斜面上,且所述支撑斜面与所述支架(1)之间的夹角等于所述支板(3)与所述支架(1)之间的夹角。
3.根据权利要求2所述的光学镀膜多角度伞架,其特征在于,所述支板的自由端设置有折叠定位卡榫(6),所述限位块(401)的下表面设置与所述折叠定位卡榫(6)配合的折叠定位卡槽(7),且上下两个所述支板(3)之间的间距与下方支板(3)的长度相等。
4.根据权利要求3所述的光学镀膜多角度伞架,其特征在于,在每个所述伞片上,各所述支板(3)的长度相等,各所述支板(3)之间等间距设置。
5.根据权利要求1所述的光学镀膜多角度伞架,其特征在于,所述角度限位机构(4)由定位块(403)、全齿轮(404)和半齿轮(405)组成,所述全齿轮(404)与所述半齿轮(405)啮合且二者均转动连接在所述定位块(403)上,各所述支板(3)的一端分别固定在所述半齿轮(405)上;所述全齿轮(404)的表面开设等间距圆周分布的若干限位孔(406),在所述定位块(403)的对应位置至少开设一个与所述限位孔(406)同轴设置的定位孔,所述全齿轮(404)每转动一个齿的角度,就会至少有一个所述限位孔(406)与所述定位孔重叠,通过限位销穿过所述重叠的限位孔(406)和所述定位孔将所述全齿轮(404)定位。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学镀膜多角度伞架,其特征在于,所述镀膜托盘(2)的开口角度为85~100°。
7.一种镀膜机,其特征在于,包括权利要求1至5中任一项所述的光学镀膜多角度伞架(14)、仓体(8)、坩埚(9)、电子枪(10)、离子源(11)和加热丝(12),所述仓体(8)内壁四周具有真空抽气口(13),所述加热丝(12)固定在所述仓体(8)顶部内壁上,所述伞架(14)旋转固定在所述仓体(8)内顶部,所述坩埚(9)和所述电子枪(10)设置在所述仓体(8)下部,且所述伞架(14)中的各所述支板(3)均与所述坩埚(9)中的蒸发源垂直设置。
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