[实用新型]光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机有效
申请号: | 201920723069.5 | 申请日: | 2019-05-20 |
公开(公告)号: | CN210163519U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 黄永达 | 申请(专利权)人: | 江苏光腾光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/30;G02B1/10;C23C14/32 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 廖娜 |
地址: | 223300 江苏省淮*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 镀膜 角度 伞架 包含 | ||
本实用新型涉及光学镀膜领域,公开了一种光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机,该伞架为若干扇形伞片固定在伞骨上组成的伞状结构,每个所述伞片中均包括扇形支架(1)和至少一个用于放置镀膜托盘(2)的支板(3),各所述支板(3)之间相互平行,各所述支板(3)的一端分别转动连接在所述支架(1)的一侧,且通过角度限位机构(4)限位固定,另一端均为自由端;在蒸镀时,所述镀膜托盘(2)上的待镀膜光学器件(5)的待镀膜表面与蒸发源垂直设置。本中的伞架能够保证固定在其上的待镀膜光学器件的待镀膜表面与下方的蒸发源均为垂直关系,有效避免蒸镀时出现膜欠或膜偏缺陷,提升产品良率。
技术领域
本实用新型涉及光学镀膜领域,特别涉及一种光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机。
背景技术
目前常用的镀膜伞架多为一体式半罩型如图1(a)、多片式半罩型如图1(b)或多片式平板型如图1(c),在镀膜时,先要将待镀膜的光学器件置于镀膜托盘上,然后将镀膜托盘固定到伞架上,如图2,将伞架置于镀膜机内蒸发源上方,当镀膜机内环境达到镀膜环境时,边旋转伞架边蒸发蒸镀材料,蒸镀材料就从蒸发源蒸发到镀膜托盘上的光学器件表面,完成蒸镀。
目前的镀膜伞架的各个伞片均为弧形结构,镀膜托盘在每个伞片上从上至下排列,如图3,每个镀膜托盘上的待镀膜光学器件的待镀膜表面相对下方的蒸发源的倾斜角度都不同且与蒸发源之间都不是垂直关系,这样,在蒸镀时很容易导致待镀膜光学器件有一部分表面无法覆盖蒸镀材料,造成膜欠或膜偏缺陷,如图4和5所示,蒸镀材料对待镀膜光学器件的表面覆盖率仅能达到93%(凸透镜)至95%(凹透镜),产品的良率较低,尤其是非球面过凹或过凸的光学器件,这种缺陷尤为明显。
另外,也是由于目前使用的伞架结构会导致上述膜欠或膜偏缺陷,为了提升产品良率,通常是将镀膜托盘的开口角度(如图6所示)加大,目前通常开口角度在120°左右,以使得从蒸发源蒸发的蒸镀材料能够尽可能全面覆盖待镀膜光学器件,但是这样设计镀膜托盘之后,为了能够同时保证镀膜托盘的强度,则需要增大镀膜托盘的面积,即相同面积的镀膜托盘所承载的待镀膜光学器件数量减少,这也间接地增加了镀膜成本。
实用新型内容
实用新型目的:针对现有技术中存在的问题,本实用新型提供一种光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机,该伞架能够保证固定在其上的待镀膜光学器件的待镀膜表面与下方的蒸发源均为垂直关系,有效避免蒸镀时出现膜欠或膜偏缺陷,提升产品良率。
技术方案:本实用新型提供了一种光学镀膜多角度伞架,为若干扇形伞片固定在伞骨上组成的伞状结构,每个所述伞片中均包括扇形支架和至少一个用于放置镀膜托盘的支板,各所述支板之间相互平行,各所述支板的一端分别转动连接在所述支架的一侧,且通过角度限位机构限位固定,另一端均为自由端;在蒸镀时,所述镀膜托盘上的待镀膜光学器件的待镀膜表面与蒸发源垂直设置。
进一步地,所述角度限位机构为具有支撑斜面的限位块,所述限位块通过螺丝与所述支架固定连接,所述支板依靠在所述限位块的支撑斜面上,且所述支撑斜面与所述支架之间的夹角等于所述支板与所述支架之间的夹角。限位块的支撑斜面与支架之间的夹角即为各支板与支架之间的夹角,所以,通过不同的角度限位机构的限位,就能够将各支板与支架之间的夹角限位固定在不同的角度。
进一步地,所述支板的自由端设置有折叠定位卡榫,所述限位块的下表面设置与所述折叠定位卡榫配合的折叠定位卡槽,且上下两个所述支板之间的间距与下方支板的长度相等。想要将各支板与支架之间重叠,即各支板与支架之间的夹角为0°,则只需要转动各支板,将其与各支架重叠,并将折叠定位卡榫与折叠定位卡槽配合卡扣固定,折叠后方便伞片存放。
优选地,在每个所述伞片上,各所述支板的长度相等,各所述支板之间等间距设置。
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