[实用新型]一种蚀刻系统

权利要求书

1.一种蚀刻系统，其特征在于，包括：

动力装置，所述动力装置用于输送药液；

输送管组，所述输送管组包括第一输送管和第二输送管，所述第一输送管和所述第二输送管均与所述动力装置连接，且所述第一输送管与所述第二输送管呈对称分布；所述动力装置将所述药液分别输送给所述第一输送管和所述第二输送管；

喷淋装置，所述喷淋装置包括多个第一喷淋装置和多个第二喷淋装置，多个所述第一喷淋装置分别与所述第一输送管连接，多个所述第二喷淋装置分别与所述第二输送管连接；多个所述第一喷淋装置呈行列排布，多个所述第二喷淋装置呈行列排布，所述第一喷淋装置与所述第二喷淋装置一一对应；所述第一喷淋装置相对基板均呈倾斜设置，相邻行的所述第一喷淋装置分别朝两个相对的方向倾斜。

2.根据权利要求1所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第一喷淋装置与所述基板之间的倾斜角度为10-30度。

3.根据权利要求1所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第一喷淋装置与其对应的所述第二喷淋装置呈交错分布。

4.根据权利要求3所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第二喷淋装置与所述基板呈垂直设置。

5.根据权利要求3所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第二喷淋装置与所述基板呈倾斜设置。

6.根据权利要求5所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第二喷淋装置与所述基板之间的倾斜角度为10-30度。

7.根据权利要求1所述的蚀刻系统，其特征在于，相邻行的对应的所述第一喷淋装置之间的距离为5-8厘米。

8.根据权利要求1所述的蚀刻系统，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置与所述动力装置连接，所述过滤装置位于所述动力装置和所述输送管组之间，所述过滤装置用于将所述动力装置输送的药液进行过滤。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的蚀刻系统，其特征在于，所述第一喷淋装置包括第一喷管和设在所述第一喷管上的第一喷嘴，所述第一喷管与所述第一输送管连接；所述第二喷淋装置包括第二喷管和设在所述第二喷管上的第二喷嘴，所述第二喷管与所述第二输送管连接。

10.根据权利要求9所述的蚀刻系统，其特征在于，还包括轮片，所述轮片的数量为多个，每个所述第一喷嘴和每个所述第二喷嘴的两侧均设有一个所述轮片。