[实用新型]湿制程设备的加工液增压喷洒装置

权利要求书

1.一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，包括有：

一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；

一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；

各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而在该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及

复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。

2.根据权利要求1所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该增压通道的宽度为0.6～2,0mm。

3.根据权利要求1或2所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，各该喷液管之间平行且相对该框架为倾斜状。

4.根据权利要求3所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，各该喷嘴相对被加工基板输送轴向的横向间距相等且横向坐标都不同。

5.根据权利要求4所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该框架还与一摇摆单元结合。

6.根据权利要求5所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该内管体的底部相对该增压通道设有三～六个喷流口，该喷洒盘将六～九支喷液管安装于该框架内，该供液主管连接六～九支供液支管。

7.根据权利要求5所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该内管体头部螺合于该喷液管，该外环体紧配合于该内管体外周缘，该喷嘴紧配合于该外环体的底部。

8.根据权利要求5所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该喷洒盘成对相向和/或连续设置。