[实用新型]湿制程设备的加工液增压喷洒装置

说明书

本实用新型提供一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其包括有：一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而于该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。

技术领域

本实用新型涉及一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，尤指一种设置增压器使喷出的加工液产生三倍大的喷射压力，而形成极大的中空负压大量吸引外部空气而与加工液自然混合成粒径微小化加工液，并具有节能效率的设计。

背景技术

湿制程设备是对印刷电路板(软板、面板、双面板及多层板等)、液晶显示玻璃板、铭板或不锈钢导线板等(简称基板)利用喷洒化学加工液进行加工的设备：诸如利用加工液喷洒装置喷洒蚀刻液对印刷电路板上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻加工，使基板上的铜箔或金属导电呈现出电路的图样，或是用于喷洒显影液进行显影加工；然而，湿制程设备的加工液喷洒装置，广泛使用单流体喷嘴对基板喷射加工液，而单流体喷嘴喷射出的加工液因粒径大，会有加工品质的精细度受限的问题，故有使用二流体喷嘴混合喷射出加工液与压缩空气，可使加工液粒径微小化，提升加工品质的精细度，但二流体喷嘴另有额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，系欲解决背景技术必须额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气致使加工液粒径微小化的问题，而具有无需耗费压缩空气即可使加工液粒径微小化的功效。

本实用新型的另一目的，则具有加工液喷洒均匀的功效。

本实用新型的又一目的，乃具有避免加工液喷洒死角的功效。

本实用新型的再一目的，遂具有节能的功效。

为达上述功效，本实用新型的结构特征，包括有：一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而于该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。

此外，该增压通道的宽度为0.6～2.0mm；各该喷液管之间平行且相对该框架为倾斜状；各该喷嘴相对被加工基板输送轴向的横向间距相等且横向坐标都不同；该框架进一步与一摇摆单元结合；该内管体的底部相对该增压通道设有三～六个喷流口，该喷洒盘将六～九支喷液管安装于该框架内，该供液主管连接六～九支供液支管；该内管体头部螺合于该喷液管，该外环体紧配合于该内管体外周缘，该喷嘴紧配合于该外环体的底部；该喷洒盘成对相向和/或连续设置。

如此，利用供液泵自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由供液主管、供液支管来到与喷液管内，加工液接着通过增压器的内管体，而由喷流口喷向增压通道，加工液在喷出增压通道时会在外环体底部形成极大的负压，大量吸引外部的空气而与加工液混合，致使喷嘴喷出的加工液粒径得以自然微小化。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构立体图。

图2是本实用新型的部分结构立体图。

图3是本实用新型的喷液管及增压器结构剖示图。