[实用新型]一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器

权利要求书

1.一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器,其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)通过转轴安装有活动门(3)，所述箱体(1)的内底面安装有竖直的伸缩杆(4)和固定竖板(7)，所述伸缩杆(4)位于所述箱体(1)内底面的中心位置，所述固定竖板(7)有两块，且对称分布在所述伸缩杆(4)的两侧；

所述伸缩杆(4)的顶端固定连接有水平的托盘(5)，所述托盘(5)的上表面放置有坩埚本体(6)，下表面滑动连接有收集槽(10)，所述固定竖板(7)的顶端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的外端焊接有固定把手(12)，内端通过轴承焊接有夹具(8)，所述夹具(8)的内壁紧贴所述坩埚本体(6)；

所述箱体(1)的内侧壁和顶壁均通过安装座安装有加热管(9)。

2.根据权利要求1所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述箱体(1)的内壁设置有保温层(2)。

3.根据权利要求1所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述伸缩杆(4)包括外管(401)，所述外管(401)顶端开口处安装有密封环(403)，所述外管(401)内部设置有内杆(402)，所述内杆(402)贯穿所述密封环(403)，所述内杆(402)的顶端焊接在所述托盘(5)的底部，所述内杆(402)的底端安装有升降滑盘(404)，所述升降滑盘(404)位于所述外管(401)内部，所述升降滑盘(404)与所述外管(401)内底部之间设置有弹簧(405)。

4.根据权利要求1所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述托盘(5)的下表面开设有T型滑槽(501)。

5.根据权利要求4所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述收集槽(10)为有缺口的、不完整的圆环结构，且该缺口为安装缺口(1001)，所述收集槽(10)的内部通过连接板(1002)焊接有T型滑块(1003)，所述T型滑块(1003)与所述T型滑槽(501)相互对应，且间隙配合。

6.根据权利要求1所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述夹具(8)包括两个竖直的连接杆(802)，所述连接杆(802)的上下两端均焊接有弧形环(801)，所述弧形环(801)的内弧面与所述坩埚本体(6)紧密接触。

7.根据权利要求1所述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，其特征在于：所述活动门(3)的外表面设置有观察窗(13)和开闭把手(14)。