[实用新型]一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器

说明书

本实用新型公开了一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器,包括箱体，所述箱体通过转轴安装有活动门，所述箱体的内底面安装有竖直的伸缩杆和固定竖板，所述伸缩杆的顶端固定连接有托盘，所述托盘的上表面放置有坩埚本体，下表面滑动连接有收集槽，所述固定竖板的顶端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外端焊接有固定把手，内端通过轴承焊接有夹具，所述箱体的内侧壁和顶壁均通过安装座安装有加热管。综上所述，本实用新型的有益效果在于：利用砷化镓晶体与氧化硼的熔点差值，通过加热管对坩埚本体进行加热，使氧化硼熔化，从而使砷化镓晶体脱离坩埚本体；利用收集槽对熔化后的氧化硼进行回收，便于氧化硼的二次利用。

技术领域

本实用新型涉及VCF砷化镓单晶生产技术领域，具体涉及一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器。

背景技术

在VGF法砷化镓单晶生长过程中，常使用热解氮化硼坩埚做生长容器，氧化硼作液封剂，以避免砷化镓单晶分解。氧化硼在氮化硼坩埚和砷化镓晶体之间形成一层薄膜，将氮化硼坩埚与砷化镓晶体粘合在一起，使氮化硼坩埚与砷化镓晶体分离的操作称之为“脱舟”，一般的方法是采用甲醇、乙醇等化学溶剂，通过浸泡的方法，慢慢溶解氧化硼薄膜。由于氧化硼薄膜处于坩埚壁和晶体之间，其厚度很小，溶解只能依靠扩散机制进行，速度慢，所需时间很长，而且氧化硼会溶解在甲醇或乙醇内，若要回收利用，还需进行提取，过程复杂繁琐，因此急需一种脱舟器实现氮化硼坩埚与砷化镓晶体的快速分离，而且能够直接回收部分的氧化硼，以便再次利用。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，优点在于能够实现氮化硼坩埚与砷化镓晶体的快速分离，而且能够直接回收部分的氧化硼，以便再次利用等技术效果，详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器,包括箱体，所述箱体通过转轴安装有活动门，所述箱体的内底面安装有竖直的伸缩杆和固定竖板，所述伸缩杆位于所述箱体内底面的中心位置，所述固定竖板有两块，且对称分布在所述伸缩杆的两侧；

所述伸缩杆的顶端固定连接有水平的托盘，所述托盘的上表面放置有坩埚本体，下表面滑动连接有收集槽，所述固定竖板的顶端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外端焊接有固定把手，内端通过轴承焊接有夹具，所述夹具的内壁紧贴所述坩埚本体；

所述箱体的内侧壁和顶壁均通过安装座安装有加热管。

采用上述一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器，将所述坩埚本体连同砷化镓单晶倒扣在所述托盘的上表面，旋转所述固定把手，利用所述螺纹杆推动所述夹具向所述坩埚本体靠拢，使两个所述夹具将所述坩埚本体夹紧，通过所述加热管对所述坩埚本体进行加热，并将温度控制到500°，由于砷化镓晶体的熔点为1238°，氧化硼的熔点为450°，因此，可将氧化硼熔化，从而使砷化镓晶体与所述坩埚本体分离，熔化后的氧化硼会顺着所述托盘流入到所述收集槽内部，由于所述伸缩杆的伸缩特性，砷化镓晶体向下压制所述伸缩杆，并逐渐下降，使砷化镓晶体完全脱离所述坩埚本体。

作为优选，所述箱体的内壁设置有保温层。

作为优选，所述伸缩杆包括外管，所述外管顶端开口处安装有密封环，所述外管内部设置有内杆，所述内杆贯穿所述密封环，所述内杆的顶端焊接在所述托盘的底部，所述内杆的底端安装有升降滑盘，所述升降滑盘位于所述外管内部，所述升降滑盘与所述外管内底部之间设置有弹簧。

作为优选，所述托盘的下表面开设有T型滑槽。

作为优选，所述收集槽为有缺口的、不完整的圆环结构，且该缺口为安装缺口，所述收集槽的内部通过连接板焊接有T型滑块，所述T型滑块与所述T型滑槽相互对应，且间隙配合。