[实用新型]一种榫卯式晶圆电镀治具

权利要求书

1.一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，包括有治具本体和盖板，所述治具本体上设置有凹槽，所述凹槽的外形、尺寸与晶圆相适配，所述凹槽的底部设置有与外部电路相连接的弹性导电环，所述弹性导电环用于承载晶圆的下表面，所述盖板与所述凹槽的外形、尺寸相适配，在所述盖板的周侧设置有用于所述盖板在所述治具本体固定的榫卯组件，所述榫卯组件包括有榫接件和铆钉，所述榫接件设置在所述治具本体上，所述铆钉穿射所述盖板与所述榫接件卡接；所述榫接件包括有连接杆，所述连接杆的端部设置有与所述铆钉抵接的榫头，所述连接杆的中段转动连接于所述治具本体上，所述连接杆远离所述榫头的一侧设置有用于所述榫头抵紧所述铆钉的弹簧。

2.根据权利要求1所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述连接杆包括有与所述治具本体连接的连接轴，所述连接杆以所述连接轴分为抵接段和按压段，所述按压段的长度大于所述抵接段。

3.根据权利要求2所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述治具本体上开设有与所述按压段对应的开口。

4.根据权利要求2或3所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述铆钉沿自身长度方向开设有连续的卡槽，所述榫头卡入所述卡槽内后所述铆钉锁紧于榫接件内。

5.根据权利要求4所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述卡槽呈环形设置，所述榫头呈与所述铆钉贴合的弧形结构。

6.根据权利要求4所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述铆钉具有缺口，所述卡槽仅分布于与所述榫头接触的表面。

7.根据权利要求4所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述卡槽为沿所述铆钉插入方向开设的齿槽，所述卡槽包括有朝向所述铆钉插入方向一侧倾斜的第一斜面，所述榫头为与所述齿槽对于的齿条，所述榫头包括有与所述第一斜面平行的第二斜面。

8.根据权利要求7所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述抵接段呈远离所述铆钉插入方向的一侧倾斜设置。

9.根据权利要求8所述的一种榫卯式晶圆电镀治具，其特征在于，所述抵接段呈圆弧形结构。