[实用新型]一种用于晶圆电镀的双面电镀治具

权利要求书

1.一种用于晶圆电镀的双面电镀治具，其特征在于，包括有治具本体，所述治具本体上设置有凹槽，所述凹槽的外形、尺寸与晶圆相适配，所述凹槽的内设置有用于卡接两晶圆的卡夹环，所述卡夹环与所述凹槽相匹配且具有第一卡环和第二卡环，所述第一卡环和第二卡环相对固定在治具本体的两侧；所述第一卡环固定于所述治具本体上，所述第二卡环可拆卸连接于所述治具本体上；所述第二卡环包括有弹性导电环，所述弹性导电环与两晶圆的侧面抵接；所述第二卡环上设置有与所述弹性导电环连接的插头，所述治具本体上设置有与外部电网连接的插座，所述插头与所述插座插接配合，所述插座包括有弹性卡接体，所述弹性卡接体具有两个U字型的抵接片，两所述抵接片的较远端通过连接片连接，所述第二卡环还包括有设置在所述弹性导电环内侧的密封圈，所述密封圈与晶圆抵接并与所述弹性导电环抵接；所述第一卡环上设置有与晶圆抵接的环形垫圈。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆电镀的双面电镀治具，其特征在于，所述弹性导电环为导电橡胶。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆电镀的双面电镀治具，其特征在于，所述插头设置有若干个，若干所述插头均匀分布在所述第二卡环的周侧，所述插座与所述插头一一对应设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆电镀的双面电镀治具，其特征在于，所述插头包括有插接体，所述插接体靠近所述第二卡环的一侧呈与所述抵接片相贴合的圆弧形结构。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆电镀的双面电镀治具，其特征在于，所述第二卡环还包括有设置在所述弹性导电环内侧的密封圈，所述密封圈与晶圆抵接并与所述弹性导电环抵接；所述第一卡环上设置有与晶圆抵接的环形垫圈。