[实用新型]一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置

权利要求书

1.一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内，用于维持砣料沉积面及附近温度不变，其特征在于：该装置包括

支撑板，设置于所述沉积炉底部；

风箱，设置与所述支撑板下部，用于砣料前期生长的部分热交换并阻隔沉积炉高温对打砣机的影响；以及

进风机构，设置在所述风箱外侧并与其内部导通；

其中，所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：在所述风箱底部可拆式安装有挡板，用于减少风箱热量散失以及阻隔高温对打砣机的影响，所述支撑板、风箱和挡板与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述风箱包括风箱本体、保温内层和保温外层，所述风箱本体有底无盖，顶端与所述支撑板连接，所述保温内层和保温外层依次安装在风箱本体内侧壁上且保温内层位于风箱本体侧壁与保温外层之间。

4.根据权利要求3所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述风箱本体由金属板加工而成，所述保温内层为保温棉，所述保温外层为轻质阻燃保温板。

5.根据权利要求1或2所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述进风装置包括进气管及进风系统，所述进气管一端风箱内部区域导通，另一端与进风系统连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述进气管共设置四根，以圆周形式均匀设置在风箱本体侧壁下方。

7.根据权利要求6所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：每根所述进气管与进风系统的连接管路上均设置电动蝶阀，所述电动蝶阀受沉积炉控制系统的联动控制。

8.根据权利要求2所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述挡板包括挡板壳体以及分层填充在挡板壳体的上保温层和下保温层。

9.根据权利要求8所述的一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，其特征在于：所述挡板壳体由金属板加工而成，所述上保温层为轻质阻燃保温板，所述下保温层为保温棉。