[实用新型]一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置有效
申请号: | 201920746568.6 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN209957642U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 高运周;鹿云龙;李建均 | 申请(专利权)人: | 四川神光石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 51292 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王海文 |
地址: | 621700 四川省绵*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沉积炉 风箱 本实用新型 进风装置 石英玻璃 支撑板 支撑杆 石英 沉积 保温 支撑板下部 产生周期 顶部安装 贯通区域 进风机构 进气机构 直径差异 打砣机 损耗量 导通 伸入 贯通 穿过 生长 | ||
本实用新型公开了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置,安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内,用于维持砣料沉积面及附近温度不变,该装置包括支撑板,设置于所述沉积炉底部;风箱,设置与所述支撑板下部;以及进风机构,设置在所述风箱外侧与其内部导通;其中,所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。本实用新型提供了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置,通过风箱和进气机构维持砣料沉积面及附近温度不变,使砣料直径均匀生长,避免产生周期结束后,砣料存在直径差异,同时减少下一工序中的损耗量,从而提高产品质量。
技术领域
本实用新型涉及合成石英玻璃制备技术领域,尤其涉及一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置。
背景技术
在合成石英玻璃生产中,四氯化硅与氢氧焰形成的高温水蒸汽发生水解反应成二氧化硅微粒,这些细小微粒在炉内的石英基板上逐渐沉积。随着原料不断地的供应,水解反应连续进行,细小二氧化硅微粒的沉积使砣料沉积面变厚,在打砣机的带动下,砣料逐渐变大、长度增加。而在砣料生长的中后期,砣料长度更长,砣料整体散热面积变大,热量散失加快,沉积处热传导速率比砣料生长前期的更快,对沉积面处温场发生改变的影响也随之加大,二氧化硅微粒沉积冷凝固化时间缩短,使得砣料生长直径逐渐缩小,到生产周期结束后,砣料后期直径与前期生长直径就会存在等径度差异。
实用新型内容
本实用新型为克服现有技术存在的问题,提供一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置,通过风箱和进气机构维持砣料沉积面及附近温度不变,使砣料直径均匀生长,避免产生周期结束后,砣料存在直径差异,同时减少下一工序中的损耗量,从而提高产品质量。
本实用新型采用的技术方案是:
一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置,安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内,用于维持砣料沉积面及附近温度不变,该装置包括
支撑板,设置于所述沉积炉底部;
风箱,设置与所述支撑板下部,用于砣料前期生长的部分热交换并阻隔沉积炉高温对打砣机的影响;以及
进风机构,设置在所述风箱外侧与其内部导通;
其中,所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。
进一步地,在所述风箱底部安装有可拆式挡板,用于减少风箱热量散失以及阻隔高温对打砣机的影响,所述支撑板、风箱和挡板与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。
进一步地,所述风箱包括风箱本体、保温内层和保温外层,所述风箱本体有底无盖,顶端与所述支撑板连接,所述保温内层和保温外层依次安装在风箱本体内侧壁上且保温内层位于风箱本体侧壁与保温外层之间。
进一步地,所述风箱本体由金属板加工而成,所述保温内层为保温棉,所述保温外层为轻质阻燃保温板。
进一步地,所述进风装置包括进气管及进风系统,所述进气管一端风箱内部区域导通,另一端与进风系统连接。
进一步地,所述进气管共设置四根,以圆周形式均匀设置在风箱本体侧壁下方。
进一步地,每根所述进气管与进风系统的连接管路上均设置电动蝶阀,所述电动蝶阀与沉积炉的控制系统联动工作。
进一步地,所述挡板包括挡板壳体以及分层填充在挡板壳体的上保温层和下保温层。
进一步地,所述挡板壳体由金属板加工而成,所述上保温层为轻质阻燃保温板,所述下保温层为保温棉。
本实用新型的有益效果是:
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