[实用新型]一种双面钝化接触的P型高效电池有效
申请号: | 201920755594.5 | 申请日: | 2019-05-24 |
公开(公告)号: | CN209592051U | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 王涛;余波;杨蕾;张鹏 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司;通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/028;H01L31/0236;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超薄氧化硅 本实用新型 高效电池 双面钝化 钝化 背面 表面钝化效果 电池转换效率 背面铝背场 隧道氧化层 背面设置 表面复合 接触结构 金属栅线 两侧设置 正反两面 正面设置 硅表面 氧化层 硅基 减小 电池 金属 | ||
本实用新型公开了一种双面钝化接触的P型高效电池,包括P型单晶硅,所述P型单晶硅正面设置有N型发射极,所述N型发射极远离P型单晶硅设置有正面超薄氧化硅层,所述正面超薄氧化硅层上方设置有N型多晶硅层,且正面超薄氧化硅层同一平面的两侧设置有氧化层;所述P型单晶硅背面设置有背面超薄氧化硅层,所述背面超薄氧化硅层远离P型单晶硅一侧设置有P型多晶硅层。本实用新型在电池的正反两面均利用隧道氧化层钝化接触结构,具备良好的表面钝化效果,在正面金属栅线正下方和背面铝背场下方对硅表面进行了钝化,避免了金属与硅基的直接接触,减小表面复合,提升电池转换效率。
技术领域
本实用新型涉及电池钝化技术领域,具体为一种双面钝化接触的P型高效电池。
背景技术
统晶硅太阳能电池的效率近年来上升很快,市场对高效电池的需求与期望越来越高,各种新技术、新结构被采用在最近的高效电池生产中,比如异质结结构(HIT)和隧道氧化层钝化接触(TOPCon)结构等。
在太阳能电池的各项损失中,表面复合的损失占据了相当大的比重,而金属与硅基接触位置的复合损失也难以忽略。
在传统PERC电池中,正面栅线与发射极的接触不可避免,尽管可以使用选择性发射极(SE)技术使表面复合降低,但缺点是:金属与半导体的接触依然带来大量复合,使开路电压Voc和短路电流Isc受到损失。
背面的氧化铝镀层虽然起到了钝化表面的作用,但其本身具有绝缘性,需要使用激光进行开槽才能使背面铝背场与硅接触从而收集载流子,激光开口率的大小会影响到表面复合的程度,但缺点是:会导致电池的填充因子FF偏低,有一定局限性,限制了PERC电池效率的进一步提升。
上述使用选择性发射极(SE)和激光开槽的方式去减少表面复合降低,效果均不够好,缺陷较为明显,所以需要一种新型的双面钝化接触的电池去减小表面复合。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种双面钝化接触的P型高效电池,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种双面钝化接触的P型高效电池,包括P型单晶硅,所述P型单晶硅正面设置有N型发射极,所述N型发射极远离P型单晶硅设置有正面超薄氧化硅层,所述正面超薄氧化硅层上方设置有N型多晶硅层,且正面超薄氧化硅层同一平面的两侧设置有氧化层,所述N型多晶硅层和氧化层上方设置有SiNx减反射层,且N型多晶硅层上设置有Ag栅线,所述Ag栅线穿过SiNx减反射层连接于N型多晶硅层上;
所述P型单晶硅背面设置有背面超薄氧化硅层,所述背面超薄氧化硅层远离P型单晶硅一侧设置有P型多晶硅层,所述P型多晶硅层下方设置有Al背场。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型的隧道氧化层钝化接触(TOPCon)结构不仅具备良好的化学钝化效果,利用一层超薄的允许电子空穴隧穿的氧化层与一层N型或P型掺杂的多晶硅组成的,不同的掺杂类型具备不同的载流子选择性,同时避免了金属电极与硅基体的直接接触,减小了复合,提高电池效率。
本实用新型在电池的正反两面均利用隧道氧化层钝化接触结构,具备良好的表面钝化效果,在正面金属栅线正下方和背面铝背场下方对硅表面进行了钝化,避免了金属与硅基的直接接触,减小表面复合,提升电池转换效率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的制备方法流程框图。
图中:1P型单晶硅、2正面超薄氧化硅层、3N型多晶硅层、4N型发射极、5氧化层、6背面超薄氧化硅层、7P型多晶硅层、8SiNx减反射层、9Ag栅线、10Al背场。
具体实施方式
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