[实用新型]一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统

权利要求书

1.一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀(1)、主真空室(2)和副真空室(3)，所述插板阀(1)设在主真空室(2)和副真空室(3)之间用于控制二者通断，所述主真空室(2)和副真空室(3)与插板阀(1)相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔(11)，其特征在于：所述通孔(11)周围设有主真空室(2)和/或副真空室(3)的侧壁连接部(9)，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)与插板阀(1)之间不设置连接法兰，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通过侧壁连接部(9)直接与插板阀(1)固接。

2.根据权利要求1所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述侧壁连接部(9)上开设有第一安装孔，所述插板阀(1)与侧壁连接部(9)相对的一侧开设有第二安装孔，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通过紧固件(4)穿过第一安装孔、第二安装孔后与插板阀(1)连接。

3.根据权利要求2所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述侧壁连接部(9)埋置于主真空室(2)和/或副真空室(3)的腔室内，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)上设有可打开或关闭主真空室(2)和/或副真空室(3)的操作门(10)，所述紧固件(4)是以可在腔室内完成拆装的方式设置在侧壁连接部(9)上。

4.根据权利要求2所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述侧壁连接部(9)上的第一安装孔为沉头孔。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的带插板阀的紧凑型真空室结构，其特征在于：所述供工件传送通过的通孔(11)的长度L等于所述侧壁连接部(9)的厚度L1与插板阀(1)的厚度L2之和。

6.一种离子束加工系统，其特征在于：包括权利要求5所述的紧凑型真空室结构。

7.根据权利要求6所述的离子束加工系统，其特征在于：所述主真空室(2)中设有离子源(5)以及用于带动离子源(5)运动的离子源运动机构(6)，所述副真空室(3)中设有用于固定工件的夹具(7)以及带动工件运动的工件运动机构(8)。