[实用新型]一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统

说明书

本实用新型公开了一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本实用新型还公开了一种离子束加工系统，所述离子束加工系统采用了上述的带插板阀的紧凑型真空室结构。本实用新型的真空室结构和离子束加工系统具有连接距离较短、成本低、结构紧凑、外形简洁美观等优点。

技术领域

本实用新型属于真空设备领域，尤其涉及一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统。

背景技术

在真空设备中，插板阀是真空室之间必不可少的组件。例如双真空室离子束加工设备中，申请号为CN201811261305.2的发明公开的一种双真空室离子束加工系统，包括主真空室和副真空室，在更换工件时，工件需要通过导轨从一个真空室运动到另外一个真空室。主真空室安装离子源，通过副真空室来更换工件。为了提高生产效率，主真空室和副真空室通过插板阀连接起来，通过插拔阀控制两个真空室的通断，更换工件时主真空室不破空，而仅对副真空室破空。

对于这类设备以及类似的设备，两个真空室的连接距离很关键。如申请号为201210265722.0的发明公开的一种双真空离子束抛光系统，两个真空室中都设有导轨，导轨在插板阀处隔断。两个真空室的连接距离越大，所需的导轨越长，而导轨结构复杂，长度越长成本越高。当插板阀厚度一定时，两个真空室之间的连接距离就取决于插板阀与两个真空室的连接结构。通常，两个真空室与插板阀采用标准法兰连接，例如CF法兰、LF法兰、ISO-F法兰等等。这些标准法兰焊接到真空壁上之后无疑增加了两个真空室的连接距离，这就需要更长的导轨，导致成本增加；同时，导轨长度增加，这就需要更大的真空室。此外，标准法兰连接结构，连接螺栓裸露，外形拖沓不美观。

实用新型内容

本实用新型提供了一种带插板阀的紧凑型真空室结构及离子束加工系统，以至少解决现有技术中的真空室之间连接距离过大的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：

一种带插板阀的紧凑型真空室结构，包括插板阀、主真空室和副真空室，所述插板阀设在主真空室和副真空室之间用于控制二者通断，所述主真空室和副真空室与插板阀相对的侧壁上开设有供工件传送通过的通孔，所述通孔周围设有主真空室和/或副真空室的侧壁连接部，所述主真空室和/或副真空室与插板阀之间不设置连接法兰，所述主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接。本实用新型的带插板阀的紧凑型真空室结构，主真空室和/或副真空室通过侧壁连接部直接与插板阀固接，取消了连接法兰，主真空室与副真空室的连接距离缩短，从而缩短了导轨的长度，降低了成本。导轨的长度缩短，进而可以缩短主真空室和/或副真空室的长度。该真空室结构，结构紧凑，而且外形简洁美观。

上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部上开设有第一安装孔，所述插板阀与侧壁连接部相对的一侧开设有第二安装孔，所述主真空室和/或副真空室通过紧固件穿过第一安装孔、第二安装孔后与插板阀连接。主真空室和/或副真空室与插板阀连接稳固、可靠，且拆装方便。

上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部埋置于主真空室和/或副真空室的腔室内，所述主真空室和/或副真空室上设有可打开或关闭主真空室和/或副真空室的操作门，所述紧固件是以可在腔室内完成拆装的方式设置在侧壁连接部上。通过操作门，可从腔室内部拆装紧固件。紧固件安装在腔室内，紧固件得以隐藏在腔室内，外形更为简洁、美观，而且避免紧固件生锈。

上述的带插板阀的紧凑型真空室结构，优选的，所述侧壁连接部上的第一安装孔为沉头孔。紧固件头部埋入沉头孔中，使得侧壁连接部表面平整，避免工件和人员被凸出紧固件头部损伤，利于提高操作的安全性，而且防止紧固件松动。