[实用新型]一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置

权利要求书

1.一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，其特征在于，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，所述第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板，第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板，第二连接板的底端侧壁固定有真空吸盘，所述第二连接板的一侧侧壁固定有真空泵，且真空泵与真空吸盘连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第二支撑板的底端侧壁开设有环形结构的滑槽，滑槽上滑动连接有滑柱，滑柱远离滑槽的一端与第三支撑板顶端侧壁固定，且滑柱与第三支撑板之间垂直设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第二支撑板的一侧侧壁固定有控制箱，控制箱的内部设置有单片机。

4.根据权利要求3所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述单片机的输入端连接有输入屏，所述单片机的输出端连接有气缸、旋转电机以及真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第三支撑板的顶端侧壁固定有对称设置的导向板，导向板的底端侧壁滑动连接有滑块，所述滑块远离导向板的一端与第一连接板顶端侧壁固定。