[实用新型]旋转阴极排水装置有效
申请号: | 201920781850.8 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN210001923U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 崔振宇 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
地址: | 102200 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 出水通道 排水装置 出水轴 开关结构 进水通道 旋转阴极 进水轴 冷却水 靶材 内开 排水 排水装置结构 本实用新型 排水效率 对接处 排出 容置 拆卸 | ||
1.一种旋转阴极排水装置,其特征在于,包括进水轴(1)和出水轴(2),所述进水轴(1)和所述出水轴(2)相互连接,所述进水轴(1)内开设有进水通道(3),所述进水通道(3)内用于容置所述旋转阴极和冷却水;所述出水轴(2)内开设有出水通道(4),所述出水轴(2)内还设置有开关结构,所述开关结构设置在所述进水通道(3)和所述出水通道(4)的对接处,所述开关结构能控制所述出水通道(4)开启和关闭,以控制所述冷却水从所述出水通道(4)排出。
2.根据权利要求1所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述开关结构包括设置在所述出水通道(4)内的转轴通道(5)、旋转盖板(6)和转轴(7);
所述旋转盖板(6)设置在所述出水通道(4)的与所述进水通道(3)对接的入口;
所述旋转盖板(6)连接在所述转轴(7)的一端,所述转轴(7)设置于所述转轴通道(5)内,且能在所述转轴通道(5)内转动,以带动所述旋转盖板(6)将所述出水通道(4)的入口封闭或者开启。
3.根据权利要求2所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述出水通道(4)为椭圆柱腔,所述旋转盖板(6)为椭圆形板;所述旋转盖板(6)的板面面积大于所述出水通道(4)入口的开口面积。
4.根据权利要求3所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述出水轴(2)的与所述进水轴(1)连接的连接端内嵌于所述进水轴(1)内,所述出水轴(2)的连接端端面上设置有第一凸台(8)和第二凸台(9),所述第一凸台(8)位于所述出水通道(4)入口的长轴方向上,所述第二凸台(9)位于所述出水通道(4)入口的短轴方向上,所述第一凸台(8)和所述第二凸台(9)能对所述旋转盖板(6)进行旋转位置限定。
5.根据权利要求4所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述转轴通道(5)贯穿所述出水轴(2),所述转轴(7)延伸至所述出水轴(2)外,所述开关结构还包括手轮(10),所述手轮(10)设置在所述转轴(7)的伸出至所述出水轴(2)外的端部,通过所述手轮(10)能操控所述旋转盖板(6)旋转。
6.根据权利要求5所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述出水轴(2)的靠近所述手轮(10)的端部开设有出口(11),能使所述冷却水排出。
7.根据权利要求2所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述出水轴(2)的与所述进水轴(1)连接的连接端还设置有端盖(12),所述端盖(12)盖合在所述进水轴(1)的连接端端部,所述端盖(12)与所述进水轴(1)之间通过连接件(13)固定连接。
8.根据权利要求7所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述端盖(12)与所述进水轴(1)之间还设置有第一密封件(14),用于对所述进水轴(1)和所述出水轴(2)的连接处进行密封。
9.根据权利要求3所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述旋转盖板(6)上还设置有第二密封件(15),用于在所述旋转盖板(6)对所述出水通道(4)入口封闭时对入口进行密封。
10.根据权利要求5所述的旋转阴极排水装置,其特征在于,所述转轴通道(5)内壁形成有内螺纹,所述转轴(7)相应位置上形成有外螺纹,所述内螺纹与所述外螺纹相互适配。
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