[实用新型]旋转阴极排水装置

说明书

本实用新型提供一种旋转阴极排水装置。该排水装置包括进水轴和出水轴，进水轴和出水轴相互连接，进水轴内开设有进水通道，进水通道内用于容置旋转阴极和冷却水；出水轴内开设有出水通道，出水轴内还设置有开关结构，开关结构设置在进水通道和出水通道的对接处，开关结构能控制出水通道开启和关闭，以控制冷却水从出水通道排出。该排水装置通过设置出水轴，并在出水轴内设置出水通道和开关结构，能够方便地控制出水通道的开启和关闭，从而在更换靶材时方便地控制该排水装置排水，该排水装置排水时无需进行管路拆卸，操作简便，且该排水装置结构简单，易于操作，不仅提高了旋转阴极排水装置的排水效率，而且提高了靶材的更换效率。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种旋转阴极排水装置。

背景技术

旋转圆柱靶磁控溅射技术的靶材利用率＞80％，溅射过程稳定、工作效率高，适用于大面积沉积柔性基材和平板玻璃等功能性薄膜。特别是适用于太阳能电池等薄膜的制备。

由于在磁控溅射设备运行中，阴极会产生大量的热，需要冷却水进行冷却，靶管内充满了冷却水，在更换靶材的时候需要将冷却水先排出。传统的方法是使用压缩空气向旋转阴极进出水管的一路中吹气，使冷却水从另外一路流出，该排水过程需要拆卸冷却水管路，此排水方法操作繁杂。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的问题，提供一种旋转阴极排水装置。该排水装置相对于现有的排水方法，该排水装置排水时无需进行管路拆卸，操作简便，且该排水装置结构简单，易于操作，不仅提高了旋转阴极排水装置的排水效率，而且提高了靶材的更换效率。

本实用新型提供一种旋转阴极排水装置，包括进水轴和出水轴，所述进水轴和所述出水轴相互连接，所述进水轴内开设有进水通道，所述进水通道内用于容置所述旋转阴极和冷却水；所述出水轴内开设有出水通道，所述出水轴内还设置有开关结构，所述开关结构设置在所述进水通道和所述出水通道的对接处，所述开关结构能控制所述出水通道开启和关闭，以控制所述冷却水从所述出水通道排出。

优选地，所述开关结构包括设置在所述出水通道内的转轴通道、旋转盖板和转轴；

所述旋转盖板设置在所述出水通道的与所述进水通道对接的入口；

所述旋转盖板连接在所述转轴的一端，所述转轴设置于所述转轴通道内，且能在所述转轴通道内转动，以带动所述旋转盖板将所述出水通道的入口封闭或者开启。

优选地，所述出水通道为椭圆柱腔，所述旋转盖板为椭圆形板；所述旋转盖板的板面面积大于所述出水通道入口的开口面积。

优选地，所述出水轴的与所述进水轴连接的连接端内嵌于所述进水轴内，所述出水轴的连接端端面上设置有第一凸台和第二凸台，所述第一凸台位于所述出水通道入口的长轴方向上，所述第二凸台位于所述出水通道入口的短轴方向上，所述第一凸台和所述第二凸台能对所述旋转盖板进行旋转位置限定。

优选地，所述转轴通道贯穿所述出水轴，所述转轴延伸至所述出水轴外，所述开关结构还包括手轮，所述手轮设置在所述转轴的伸出至所述出水轴外的端部，通过所述手轮能操控所述旋转盖板旋转。

优选地，所述出水轴的靠近所述手轮的端部开设有出口，能使所述冷却水排出。

优选地，所述出水轴的与所述进水轴连接的连接端还设置有端盖，所述端盖盖合在所述进水轴的连接端端部，所述端盖与所述进水轴之间通过连接件固定连接。

优选地，所述端盖与所述进水轴之间还设置有第一密封件，用于对所述进水轴和所述出水轴的连接处进行密封。

优选地，所述旋转盖板上还设置有第二密封件，用于在所述旋转盖板对所述出水通道入口封闭时对入口进行密封。

优选地，所述转轴通道内壁形成有内螺纹，所述转轴相应位置上形成有外螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相互适配。