[实用新型]一种平板式PECVD设备用大尺寸腔盖有效
| 申请号： | 201920798776.0 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN210341062U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 彭宜昌;陈国钦;唐电;杨彬;郭立;杨勇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平板 pecvd 备用 尺寸 | ||
1.一种平板式PECVD设备用大尺寸腔盖，包括盖板(1)，所述盖板(1)的一条侧边(11)上设有铰链安装部(12)，其特征在于：所述盖板(1)的外表面固设有第一T形加强筋(2)和第二T形加强筋(3)，所述第一T形加强筋(2)包括第一横边(21)和第一竖边(22)，所述第二T形加强筋(3)包括第二横边(31)和第二竖边(32)，所述第一横边(21)、第二横边(31)及侧边(11)依次平行布置，所述第一竖边(22)的中心线与所述第二竖边(32)的中心线重合，所述第二竖边(32)与所述第一横边(21)抵靠。
2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备用大尺寸腔盖，其特征在于：所述第一T形加强筋(2)和所述第二T形加强筋(3)均与所述盖板(1)通过紧固件(4)连接。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的平板式PECVD设备用大尺寸腔盖，其特征在于：所述侧边(11)的两端均设有所述铰链安装部(12)，所述第二T形加强筋(3)位于两个所述铰链安装部(12)之间。
4.根据权利要求1至2中任一项所述的平板式PECVD设备用大尺寸腔盖，其特征在于：所述盖板(1)的外表面设有定位槽(13)，所述第一T形加强筋(2)和所述第二T形加强筋(3)定位于所述定位槽(13)中。
5.根据权利要求1至2中任一项所述的平板式PECVD设备用大尺寸腔盖，其特征在于：所述盖板(1)的内表面于中部设有凹槽(14)，所述凹槽(14)的四周形成内加强筋(15)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920798776.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：精馏残渣排放尾气吸收装置
- 下一篇：一种石油勘探岩屑粒度分离装置
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
