[实用新型]一种真空镀膜机的进气系统有效
| 申请号： | 201920799463.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210065897U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 张德军 | 申请（专利权）人： | 深圳市创基真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518015 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气箱体 进气通道 本实用新型 进气管道 进气孔 真空镀膜机 底部连通 镀膜效果 进气系统 模具表面 进气 膜厚 轴向 连通 平整 | ||
1.一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：包括进气箱体（1），所述进气箱体（1）顶部连接有进气管道（5），所述进气箱体（1）内设有进气通道，所述进气通道与进气管道（5）连通，所述进气通道底部沿其轴向开设有至少两个进气孔，所述进气孔与进气箱体（1）底部连通。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气通道底部逐层连接有若干个下一进气通道，每个下一进气通道底部沿其轴向开设有若干个进气孔，每个下一进气通道开设的进气孔数量大于上一进气通道开设的进气孔数量。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气孔在进气通道上均匀设置。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述最底层进气孔为锥台状。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气箱体（1）内从上到下分别设有第一进气通道（2）、第二进气通道（3）与第三进气通道（4），所述第一进气通道（2）上三等分点处均开设有第一进气孔（21），所述第二进气通道（3）上五等分点处均开设有第二进气孔（31），所述第三进气通道（4）上九等分点处均开设有第三进气孔（41）。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气管道（5）远离进气箱体（1）一端设有增压阀门（9）。
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气箱体（1）与进气管道（5）插接，所述进气箱体（1）顶部连接有第一连接管（6），所述第一连接管（6）连接进气管道（5）一端设有定位销（101），所述进气管道（5）连接第一连接管（6）一端沿其轴向均匀设有若干个定位孔（10），所述定位销（101）与定位孔（10）插接，所述第一连接管（6）与进气管道（5）插接。
8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气箱体（1）与进气管道（5）转动连接，所述进气管道（5）连接第一连接管（6）一端设有第二连接管（7），所述第二连接管（7）一端与第一连接管（6）插接，另一端设有凹槽（11），所述进气管道（5）连接第二连接管（7）一端设有卡件（111），所述凹槽（11）与卡件（111）转动连接，所述第二连接管（7）与进气管道（5）转动连接。
9.根据权利要求8所述的一种真空镀膜机的进气系统，其特征在于：所述进气管道（5）与第二连接管（7）连接处设有密封圈（8）。
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